证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2021-122
上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于
控股子公司增资扩股引入战略投资者暨关联交易的
公告
本公司董事会、全体董事及相关股东保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。
重要内容提示：
交易的主要内容：上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”、“至纯科技”）控股子公司至微半导体（上海）有限公司（以下简称“至微科技”）拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为 42,000 万元（其中上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）（以下简称“芯晟至远”）增资额为 2,000 万元），股权转让涉及金额 23,200 万元。本次交易完成前，公司持有至微科技的股份比例为 99.34%，本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例为 77.11%。
本次交易的增资方之一芯晟至远的执行事务合伙人为公司高管陆磊先生，根据《上海证券交易所股票上市规则》的规定，芯晟至远为公司关联方，本次交易构成关联交易。
截至本公告日，过去 12 个月公司与芯晟至远未发生其他关联交易
本次交易不构成《上市公司重大资产重组管理办法》规定的重大资产重组。
本次交易的实施不存在重大法律障碍。
本次交易事项经公司董事会审议通过，尚需提交公司股东大会审议批准。本次交易尚未签署协议，交易能否最终完成存在不确定性，请投资者注意投资风险。
一、交易概述
至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。至微科技的发展得到了用户的肯定，也得到了产业投资者的重点关注。
为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。
本次交易前，至微科技注册资本为 45,500 万元，依据增资前至微科技 250,000
万元的估值，对应 5.4945 元/注册资本，本次深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称“远致星火”）、国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司（以下简称“大基金二期”）、中国国有企业混合所有制改革基金有限公司（以下简称“混改基金”）、中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业（有限合伙）（以下简称“中芯聚源”）、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称“装备材料基金”）、中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业（有限合伙）（以下简称“芯鑫鼎橡”）、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资
42,000 万元，其中 7,644 万元计入注册资本，其余 34,356 万元计入资本公积。
本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资42,000 万元后的 7.95%的股权以 23,200 万元转让给远致星火，其中 4,222.40 万元计入至微科技注册资本，18,977.60 万元计入资本公积。在本次远致星火受让股权的过程中，所有其他投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。
本次交易的增资方之一芯晟至远的执行事务合伙人为公司高管陆磊先生，根据《上海证券交易所股票上市规则》的规定，芯晟至远为公司关联方，本次交易构成关联交易。过去 12 个月公司与芯晟至远未发生其他关联交易。
本次增资及股权转让完成后，至微科技注册资本增加至 53,144 万元。至微科技的股东信息情况如下：
序号 股东名称 认缴注册资本 持股比例
（万元）
1 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 40,977.60 77.11%
2 欣铠电子科技（上海）合伙企业（有限合 300.00 0.56%
伙）
3 深圳市远致星火私募股权投资基金合伙 5,314.40 10.00%
企业（有限合伙）
4 国家集成电路产业投资基金二期股份有 1,820.00 3.42%
限公司
5 中国国有企业混合所有制改革基金有限 1,820.00 3.42%
公司
6 中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙 910.00 1.71%
企业（有限合伙）
7 上海半导体装备材料产业投资基金合伙 546.00 1.03%
企业（有限合伙）
8 中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业 546.00 1.03%
（有限合伙）
9 平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限 546.00 1.03%
合伙）
10 上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限 364.00 0.68%
合伙）
合计 53,144 100%
公司于 2021 年 10 月 18 日召开第四届董事会第九次会议全票表决通过了
《关于控股子公司增资扩股引入战略投资者暨关联交易的议案》，独立董事发表了事前认可意见及同意本次交易的独立意见。本次交易尚需提交公司股东大会审议批准，与该关联交易有利害关系的关联人将放弃在股东大会上对该议案的投票权。
二、交易各方情况介绍
公司董事会已对交易各方的基本情况及其交易履约能力进行了必要的尽职调查，认为其具备交易履约能力。
交易对方情况介绍如下：
1、 深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
公司名称 深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一信用代码 91440300MA5GX4PU68
企业类型 有限合伙企业
注册地址 深圳市福田区福田街道福安社区深南大道 4009 号投资大
厦 14C1
成立日期 2021-07-29
一般经营项目是：以私募基金从事股权投资、投资管
经营范围 理、资产管理等活动（须在中国证券投资基金业协会完
成登记备案后方可从事经营活动）。
远致星火于 2021 年 7 月 29 日成立，暂无财务数据。
2、 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司
公司名称 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司
统一信用代码 91110000MA01N9JK2F
企业类型 其他股份有限公司（非上市）
法定代表人 楼宇光
注册资本 20415000 万元人民币
注册地址 北京市北京经济技术开发区景园北街 2 号 52 幢 7 层 701-6
成立日期 2019-10-22
项目投资、股权投资；投资管理、企业管理；投资咨询。
（“1、未经有关部门批准，不得以公开方式募集资金；2、
不得公开开展证券类产品和金融衍生品交易活动；3、不得
经营范围 发放贷款；4、不得对所投资企业以外的其他企业提供担
保；5、不得向投资者承诺投资本金不受损失或者承诺最低
收益”；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的
内容开展经营活动。）
股权结构：第一大股东为中华人民共和国财政部，持股比例为 11.0213%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产为 4,270,469 万元；负债总
额为 49,208 万元；净资产为 4,221,261 万元；净利润为 144,464 万元（上述数据
已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，大基金二期与公司不存在产权、业务、资产、债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利益倾斜的其他关系。
3、 中国国有企业混合所有制改革基金有限公司
公司名称 中国国有企业混合所有制改革基金有限公司
统一信用代码 91310000MA1FL7MC49
企业类型 有限责任公司（港澳台投资、非独资）
法定代表人 李洪凤
注册资本 7070000 万元人民币
注册地址 中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路 888 号
821 室
成立日期 2020-12-24
一般项目：股权投资；资产管理；投资咨询；企业管理
经营范围 咨询业务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法
自主开展经营活动）
股权结构：第一大股东为中国诚通控股集团有限公司，持股比例为 33.9463%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产 66 亿元，负债总额 0 元，
净资产 66 亿元，净利润 0 元（以上数据已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，混改基金与公司不存在产权、业务、资产、债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利益倾斜的其他关系。
4、 中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业（有限合伙）
中小企业发展基金（绍兴）股权投资基金合伙企业（有限
公司名称 合伙）
统一信用代码 91330602MA2JR9H91D
企业类型 有限合伙企业
执行事务合伙人 中芯聚源股权投资管理(天津)合伙企业(有限合伙)
注册资本 88560 万元人民币
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