证券代码：688037 证券简称：芯源微
沈阳芯源微电子设备股份有限公司投资者关系活动记录表
编号：2021-11
投资者关系 □特定对象调研 分析师会议 □媒体采访
活动类别 □业绩说明会 □新闻发布会 □路演活动
现场参观 其他（电话会议）
华夏基金、博时基金、南方基金、嘉实基金、工银瑞信基金、
交银施罗德基金、银华基金、华泰柏瑞基金、国泰基金、中银
基金、中融基金、中加基金、华宝基金、建信基金、光大保德
信基金、农银汇理、国联安基金、中海基金、国寿安保基金、
参与单位名 天弘基金、中海基金、金鹰基金、圆信永丰基金、前海联合基
称及人员姓
名 金、摩根士丹利华鑫基金、宝盈基金、太平基金、创金合信基
金、华泰保兴基金、财通基金、融通基金、兴华基金、方正富
邦基金、中信建投基金、太平洋资产、泰康资产、长城财富资
产、海通证券、国海资管、平安证券、建银国际、远洋资本、
赢动私募、深圳前海百创、合众资产等
时间 2021 年 11 月
地点 公司会议室
董事长、总裁 宗润福
上市公司接 副总裁、董事会秘书、财务总监李风莉
待人员姓名 证券投资部总监 刘书杰
大客户经理 张浩渊
Q：能否简单介绍下公司产品？
投资者关系 A：公司主要有两大类产品，分别是涂胶显影设备和湿法类设
活动主要内 备。涂胶显影设备与光刻机联机作业，是在晶圆制造工序上的
容介绍
核心设备，工艺范围涵盖前道 offline、I-line、KrF、ArF 等制
程、集成电路制造后道先进封装制程以及 LED 芯片制造工艺。
湿法类设备以清洗机为代表，包括去胶机、刻蚀机等。清洗机
目前已广泛应用于集成电路制造工艺中的成膜前/成膜后清洗、
等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后的清洗
和金属沉积后清洗等各个环节。
Q：公司在手订单情况如何？
截至 2021 年 9 月 30 日，公司在手订单金额为 133,055.34 万
元，较 2020 年末新增 56,338.79 万元，增长 73.44%。前道设
备方面，2021 年 1-9 月，前道新签订单同比增长 221.50%。后
道设备方面，2021 年 1-9 月，后道新签订单同比增长
217.52%。公司在手订单饱满。
Q：公司在后道领域的销售情况如何？
A：公司后道领域销售情况良好。公司生产的后道涂胶显影设
备与单片式湿法设备，作为主流机型应用于台积电、长电科
技、华天科技、通富微电、晶方科技等国内一线大厂。公司后
道产品已成功销售至日月光、硒品、盛合晶微等封装客户。
Q：公司 IPO 募投项目高端晶圆处理设备产业化项目的建设进
度如何？
A：高端晶圆处理设备产业化项目建设进展良好，预计今年 12
月部分生产厂房可以投入使用。新厂房的投产可以较好的地缓
解公司的产能瓶颈。
Q：目前零部件紧张的情况下，涂胶显影设备和湿法设备的交
付周期是否有变化？
A：公司有一套完善的供应链管理体系。通过自主研发、提前
备库等方式科学管理供应链，公司可以保证涂胶显影设备和湿
法设备的按时交付。
附件清单 无
日期 2021 年 12 月 7 日
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