证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2024-007
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2023 年度业绩快报公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
本公告所载2023年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2023年年度报告中披露的数据为
准，提请投资者注意投资风险。
一、2023 年度主要财务数据和指标
单位： 万元
项目 本报告期 上年同期 增减变动幅度
（％）
营业总收入 626,351.36 473,983.10 32.15%
营业利润 198,031.86 126,291.41 56.81%
利润总额 201,038.16 125,854.79 59.74%
归属于母公司所有者 178,590.80 116,979.24 52.67%
的净利润
归属于母公司所有者
的扣除非经常性损益 119,143.48 91,945.85 29.58%
的净利润
基本每股收益（元） 2.89 1.90 52.11%
加权平均净资产收益 10.72% 7.94% 增长 2.78 个百
率 分点
本报告期末 本报告期初 增减变动幅度
（％）
总 资 产 2,152,554.66 2,003,478.15 7.44%
归属于母公司的所有 1,782,612.29 1,548,393.19 15.13%
者权益
股 本 61,927.94 61,624.45 0.49%
归属于母公司所有者 28.79 25.13 14.56%
的每股净资产（元）
注：1、本报告期初数同法定披露的上年年末数。
2、以上财务数据及指标以合并报表数据填列，但未经审计，最终结果以公司 2023年年度报告为准。
二、经营业绩和财务状况情况说明
（一）报告期的经营情况、财务状况及影响经营业绩的主要因素
1、报告期的经营情况、财务状况
公司 2023 年营业收入约 62.64 亿元，较 2022 年增加约 15.24 亿
元，同比增长约 32.15%。其中，2023 年刻蚀设备销售约 47.03 亿元，同比增长约 49.43%；MOCVD 设备销售约 4.62 亿元，同比下降约33.95%。公司从 2012 年到 2023 年超过十年的平均年营业收入增长率超过 35%。
公司 2023 年新增订单金额约 83.6 亿元，较 2022 年新增订单的
63.2 亿元增加约 20.4 亿元，同比增长约 32.3%。其中刻蚀设备新增订
单约 69.5 亿元，同比增长约 60.1%；由于中微的 MOCVD 设备已经
在蓝绿光 LED 生产线上占据绝对领先的市占率，受终端市场波动影响，2023 年订单同比下降约 72.2%。
2023 年归属于母公司所有者的净利润约 17.86 亿元，较上年同期
增加 52.67%；2023 年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净
利润约 11.91 亿元，较上年同期增加 29.58%。
于报告期末，公司总资产约 215.26 亿元，较报告期初增加 7.44%；
归属于母公司的所有者权益约 178.26 亿元，较报告期初增加 15.13%。
2、影响经营业绩的主要因素
近年随着人工智能、云计算、大数据、自动驾驶等新兴产业进一步加速发展，半导体微观加工设备作为数码产业的关键基石，其市场高速发展。公司主营产品等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，技术壁垒较高，市场空间广阔。公司开发的多类刻蚀设备在可靠性、稳定性等方面满足客户先进制程中各类严苛需求，在产业化推进过程中取得显著成果。受益于公司完整的单台和双台刻蚀设备布局、核心技术持续突破、产品升级快速迭代、刻蚀应用覆盖丰富等优势，公司 CCP 和ICP 刻蚀设备2023 年在国内主要客户芯片生产线上市占率继续大幅提升；公司的 TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和 MEMS 等器件生产。由于公司的 MOCVD 设备已经在蓝绿光 LED 生产线上占据绝对领先的市占率，受终端市场波动影响，2023 年订单同比下降约 72.2%。公司备品备件及服务方面则维持正常水平。
公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD 设备和 ALD 设备，目前已有四款设备产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复性订单；公司新开发的硅和锗硅外延 EPI 设备、晶圆边缘 Bevel 刻蚀设备等多个新产品，也会在近期投入市场验证。
公司开发的包括碳化硅功率器件、氮化镓功率器件、Micro-LED等器件所需的多类 MOCVD 设备也取得了良好进展，2024 年将会陆续进入市场。
公司在南昌约 14 万平方米的生产和研发基地已正式投入使用、上海临港的约 18 万平方米的生产和研发基地部分生产厂房已经投入使用，支持了公司销售快速增长的达成。公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。公司特别重视核心技术的创新，始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入，同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强。
2023 年公司不断升华具有中微特色的公司体制和文化，持续践行和倡导“四个十大”的企业文化。2023 年人均年化营业收入已达到约 350 万元，在国内处于同行业领先水平。公司为客户和市场提供高科技产品和服务的同时，对标国际领先 ESG 水准，持续提升在环境保护、社会责任和公司治理等方面水平。
公司将继续瞄准世界科技前沿，秉承三维发展战略，持续锻造并提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展，尽快在规模和竞争力上发展成为国际一流的半导体设备和高科技领先企业！
（二）财务指标增减变动幅度达 30%以上的主要原因说明
营业收入较上年同期增长 32.15%，主要系受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势。
营业利润、利润总额和归属于母公司所有者的净利润较上年同期分别增长 56.81%、59.74%和 52.67%的主要原因：2023 年收入增长和
毛利维持较高水平，公司扣非后归母净利润较上年同期增加约 2.72 亿
元。2023 年非经常性损益约 5.94 亿元，较上年同期的 2.50 亿元增加
约 3.44 亿元。非经常性损益的变动主要系公司于 2023 年出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约 4.06 亿元。
归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润较上年同期
增加 29.58%的主要原因：2023 年营业收入约 62.64 亿元，较 2022 年
增加约 15.24 亿元，同比增长约 32.15%；2023 年毛利约 28.70 亿元，
较 2022 年增加约 7.02 亿元，同比增长约 32.40%。
三、风险提示
本公告所载 2023 年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司 2023 年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2024 年 2 月 29 日
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