证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2022-020
拓荆科技股份有限公司
关于使用部分超募资金投资建设新项目
并向全资子公司增资以实施新建项目的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈 述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示
投资项目：半导体先进工艺装备研发与产业化项目（以下简称“本项目”或“项目”）。
投资金额及资金来源：本项目计划总投资金额为 93,000.00 万元（最终项
目投资总额以实际投入为准），拓荆科技股份有限公司（以下简称“公司”）拟使用首次公开发行股票并在科创板上市的超募资金 93,000.00 万元投入本项目。
项目建设周期：本项目建设周期预计为 2 年（最终以实际开展情况为
准）。
公司于 2022 年 9 月 30 日召开了第一届董事会第十四次会议和第一届监
事会第八次会议，同意使用超募资金 93,000.00 万元投资建设新项目并向全资子公司增资以实施新建项目。公司独立董事、监事会对上述事项发表了明确的同意意见，保荐机构招商证券股份有限公司对上述事项出具了明确的核查意见，上述事项尚需提交公司股东大会审议。
本次投资不构成关联交易，亦不构成重大资产重组。
相关风险提示：本项目涉及大额长期资产的投入，在项目建设期和投产初期，新增折旧摊销费用将导致公司利润下滑的风险，同时，项目实施过程中存在着下游客户扩产或公司客户拓展不达预期、技术迭代等诸多不确定因素，面临无法达到预期效益的风险，敬请投资者注意投资风险。
一、募集资金基本情况
（一）募集资金的基本情况
根据中国证券监督管理委员会于 2022 年 3 月 1 日出具的《关于同意拓荆科
技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2022]424 号），公司首次向社会公众公开发行人民币普通股（A 股）股票 31,619,800 股，每股面值为人民币 1 元。本次发行价格为每股人民币 71.88 元，募集资金总额为人民币 227,283.12 万元，扣除发行费用人民币 14,523.40 万元后，募集资金净额为人民币 212,759.73 万元。
天健会计师事务所（特殊普通合伙）于 2022 年 4 月 14 日对资金到位情况
进行了审验，并出具《验资报告》(天健验[2022]139 号)。公司依照规定对上述募集资金进行专户存储管理，并与保荐机构、存放募集资金的开户银行签署了募集资金专户存储监管协议。
（二）募投项目及超募资金情况
根据《拓荆科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司首次公开发行股票募集资金投资项目如下：
单位：人民币万元
序号 项目名称 投资总额 募集资金投 实施主体
资额
1 高端半导体设备扩产 7,986.46 7,986.46 拓荆科技股份有限公司
项目
2 先进半导体设备的技 39,948.34 39,948.34 拓荆科技股份有限公司
术研发与改进项目
3 ALD 设备研发与产 27,094.85 27,094.85 拓荆科技（上海）有限公司
业化项目
4 补充流动资金 25,000.00 25,000.00 拓荆科技股份有限公司
合计 100,029.65 100,029.65 -
公司首次公开发行股票募集资金净额为人民币 212,759.73 万元，募集资金投资项目总额 100,029.65 万元，超募资金为 112,730.08万元。
（三）募集资金使用情况
公司于 2022 年 6 月 17 日召开的第一届董事会第十一次会议及第一届监事
会第六次会议审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过人民币 160,000 万元（含本数）的闲置募集资金（含超募资金）进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起 12 个月之内有效，在上述额度和期限范围内，资金可循环滚动使用。公司独立董事、监事会对上述事项发表了明确的同意意见，保荐机构招商证券股份有限公司对上述事项出具了
明确的核查意见。具体内容详见公司于 2022 年 6 月 18 日披露于上海证券交易
所网站（www.sse.com.cn）的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2022-003）。
公司于 2022 年 6 月 17 日分别召开了第一届董事会第十一次会议和第一届
监事会第六次会议，审议通过了《关于使用募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的议案》，同意公司使用募集资金 27,000 万元向全资子公司拓荆科技（上海）有限公司（以下简称“拓荆上海”）进行增资，用于实施募投项目“ALD 设备研发与产业化项目”。公司独立董事、监事会对本事项发表了明确的同意意见，保荐机构招商证券股份有限公司对上述事项出具了明确的核查意
见。具体内容详见公司于 2022 年 6 月 18 日披露于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）的《关于使用募集资金向全资子公司增资以实施募投项目的公告》（公告编号：2022-004）。
公司于 2022 年 8 月 25 日召开的第一届董事会第十二次会议及第一届监事
会第七次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目和已支付发行费用的自筹资金合计 17,510.92 万元。公司独立董事、监事会对上述事项发表了明确的同意意见，保荐机构出具了明确的核查意见，天健会计师事务所（特殊普通合伙）针对上述事项出具了《关于拓荆科技股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及已支付发行费用的鉴证报告》[天健审〔2022〕
8281 号]。具体内容详见公司于 2022 年 8 月 27 日披露于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）的《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2022-011）。
二、本次使用部分超募资金投资建设新项目的基本情况
公司本次拟使用超募资金 93,000.00 万元用于半导体先进工艺装备研发与产业化项目建设，具体情况如下：
（一）项目概况
本项目将在上海市自由贸易试验区临港新片区建设研发与产业化基地，用于先进 ALD 设备及工艺的研发，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。本项目的实施，将助推公司业务规模的持续增长，同时，也有助于公司不断加强自身在细分领域的竞争优势，始终保持业内领先地位。
（二）项目基本情况
1、项目名称：半导体先进工艺装备研发与产业化项目
2、项目实施主体：拓荆上海
3、项目实施地点： 本项目拟选址于上海自由贸易试验区临港新片区前沿产业区内，面积约 60 亩，目前尚未取得相关土地。目标地块精确位置、四至范围、土地面积、容积率和建筑限高等具体情况以未来公司和当地政府土地管理部门签署的国有建设用地使用权出让合同为准。
4、项目投资规模：项目总投资 93,000.00 万元
5、项目资金来源：公司拟使用首次公开发行股票并在科创板上市的超募资金 93,000.00 万元投入本项目。
6、项目实施方式：由公司向全资子公司拓荆上海增资。
7、项目建设周期：本项目建设周期预计为 2 年（最终以实际开展情况为准）。
（三）项目建设必要性分析
1、符合国家发展战略，实现半导体设备自主可控
本项目通过布局半导体先进工艺装备的研发与产业化，以满足集成电路晶圆制造产线的需求，有利于推动集成电路关键设备的发展，是落实国家产业规划、实现我国集成电路产业链高端设备供给自主可控的必要举措。
2、有利于公司提升技术水平、巩固行业地位
能的要求也日益提高。这一趋势对薄膜沉积设备提出了更高的技术要求，市场对于高性能薄膜设备的依赖逐渐增加。
本项目通过新建研发及生产环境，在现有技术储备的基础上，研制适用于先进技术节点的薄膜沉积设备，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化，有利于提升产品技术水平及核心竞争力，并巩固行业领先地位。
3、有利于公司把握市场需求、抓住市场机遇
随着半导体行业整体景气度的提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，拉动市场对薄膜沉积设备需求的增加。Maximize Market Research 预计全球
半导体薄膜沉积设备市场规模在 2025 年将达到 340 亿美元，2020 年-2025 年期
间保持年复合 13.3%的增长速度。
本项目通过布局适用于先进制程领域的半导体设备，可以进一步提高逻辑电路、存储芯片等集成电路制造设备领域的市场份额，在即将到来的新兴应用领域及其所需高端芯片的增长期中夺得先机，进而抓住市场机遇迅速扩大企业规模。
（四）项目建设可行性分析
1、政策推动与市场需求双轮驱动，为项目实施奠定基础
近年来，国家出台了一系列政策和措施，有力推动了我国半导体设备行业的快速发展。同时，伴随国内晶圆厂的扩产建厂，将带动半导体设备需求的增长。政策推动与市场需求双轮驱动为项目实施奠定基础。
2、公司雄厚的技术实力为项目实施提供保障
公司一直专注于高端半导体专用设备的技术研发，先后承担累计 7 项国家重大专项/课题。公司已形成 PECVD、ALD、SACVD 三个系列产品，在半导体薄膜沉积设备领域积累了多项国际先进的核心技术，构建了具有设备种类、工艺型号外延开发能力的研发平台。
3、公司领先的行业地位与丰富的客户资源为项目实施提供支持
公司作为薄膜沉积设备领域的领军企业，凭借深厚的技术储备和丰富的产
品线率先抢占市场，积累了大量的客户资源，为项目实施提供了有力的支持。
（五）项目与公司主要经营业务的关联度分析
本项目建成后，将在公司现有已量产设备的基础上，进一步开发满足先进技术节点应用需求的薄膜沉积设备，同时，在公司原有产品、技术及客户资源的基础上，实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化，巩固公司市场地位，增强盈利能力。
本项目内容与公司主营业务密切关联，不会改变公司现有主营业务，有益于公司长期可持续发展。
（六）主要风险分析
本次公司使用部分超募资金投资建设新项目是基于当前的行业发展现状和 趋势并结合自身情况做出的决策，虽然公司已对项目的可行性进行了论证，但 本项目涉及大额长期资产的投入，在项目建设期和投产初期，新增折旧摊销费 用将导致公司利润下滑的风险，同时，项目实施过程中存在着下游客户扩产或 公司客户拓展不达预期、技术迭代等诸多不确定因素，面临无法达到预期效益 的风险，敬请投资者注意投资风险。
（七）保障超募资金安全
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