上海至纯洁净系统科技股份有限公司
前次募集资金使用情况的专项报告
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会根据中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于前次募集资金使用情况报告
的规定》（证监发行字[2007]500 号）的规定，将截至 2022 年 12 月 31 日止的前次募集资
金使用情况报告如下：
一、前次募集资金的募集及存放情况
（一）2017 年首次公开发行股票募集资金的募集及存放情况
公司根据中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司首次公开发行股票的批复》（证监许可[2016]3058 号），向社会公开发行人民币普通股（A 股）5,200 万股，
每股面值为人民币 1 元，每股发行价为 1.73 元，募集资金总额 8,996.00 万元，扣除发行费
用 1,852.47 万元，募集资金净额 7,143.53 万元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊
普通合伙）于 2017 年 1 月 9 日出具的“众会字(2017)第 0086号”《验资报告》验证。
公司按照《上市公司证券发行管理办法》规定在以下银行开设了募集资金得存储专户，
截至 2022 年 12月 31 日止，募集资金得存储情况列示如下：
开户行 银行账号 初始存放金额 2022 年 12 月 31 日余
额
杭州银行上海闵行支行 3101040160000641065 55,972,000.00 已销户
兴业银行股份有限公司 216250100100121760 23,988,000.00 已销户
上海静安支行
合计 79,960,000.00 -
注：以上两募集资金专户已完成注销手续。
（二）2019 年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资的募集及存放情况
公司根据中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资金的批复》（证监许可[2018]2185号）（以下简称“《2185号批
复》”），向赵浩、宁波杭州湾新区人保远望启迪科服股权投资中心（有限合伙）、平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）等波汇科技的全体11名股东发行股份并支付现金收购其持有波汇科技的100%出资份额。其中，公司以新增股份26,165,214股支付交易金额
43,198.77万元，以现金支付交易金额24,801.23万元，合计交易总金额68,000.00万元。该股份发行事项业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年3月22日出具的“众会字(2019)第2514号”《验资报告》验证。
根据《2185 号批复》，公司以非公开发行股票的方式向特定投资者发行 20,985,844 股
股票，发行价格为 20.49元/股，募集资金总额 429,999,943.56元，扣除各项发行费用后的募 集资金净额为 418,517,624.25 元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于
2019年 4 月 22日出具的“众会字（2019）第 3882 号”《验资报告》验证。
公司按照《上市公司证券发行管理办法》规定在以下银行开设了募集资金得存储专户，
截至 2022 年 12月 31 日止，募集资金得存储情况列示如下：
初始存放金额 2022 年 12 月
开户行 账号 （元） 31 日余额
（元）
兴业银行股份有限公司上海
静安支行 216250100100149619 13,400,000.00 已销户
中国光大银行股份有限公司
上海闵行支行 36660188000224932 248,012,300.00 已销户
杭州银行股份有限公司上海
闵行支行 3101040160001525416 158,587,643.56 81,576.70
合 计 419,999,943.56 81,576.70
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金的募集及存放情况
经中国证券监督管理委员会[证监许可〔2019〕2277 号]核准，公司于 2019 年 12 月 20
日公开发行了 356 万张可转换公司债券，期限 6 年，每张面值 100 元，发行总额（募集资
金总额）为人民币 35,600.00 万元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为 345,742,075.46 元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于 2019年12月26日出具的“众会 字（2019）第 7900 号”《验资报告》。
公司按照《上市公司证券发行管理办法》规定在以下银行开设了募集资金得存储专户，
截至 2022 年 12月 31 日止，募集资金得存储情况列示如下：
初始存放金额 2022 年 12 月
开户行 账号 （元） 31 日余额
（元）
杭州银行股份有限公司上海闵行支
行 3101040160001780540 146,520,000.00 已销户
兴业银行市南支行-至纯 216350100100100151 200,000,000.00 已销户
兴业银行市南支行-至微半导体 216350100100100783 - 已销户
合计 346,520,000.00
（四）2020年非公开发行股份募集资金的募集及存放情况
2020 年 11 月 12 日中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有
限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）的核准，公司非公开发行不超
过 78,005,377 股新股，截至 2020 年 12 月 23 日，公司本次非公开发行人民币普通股
47,749,661 股，发行价格 28.79 元/股，实际募集资金总额为人民币 1,374,712,740.19 元，扣
除各项不含税发行费用人民币 20,184,669.49 元后，募集资金净额为人民币 1,354,528,070.70元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于 2020年12月23日出具的“众会字（2020）第 8380 号”《验资报告》。
公司按照《上市公司证券发行管理办法》规定在以下银行开设了募集资金得存储专户，
截至 2022 年 12月 31 日止，募集资金得存储情况列示如下：
初始存放金额 2021 年 12 月
开户行 账号 （元） 31 日余额
（元）
兴业银行上海市南支行 216350100100120053 1,355,712,740.19 已销户
杭州银行股份有限公司上 3101040160001981296 -
海分行-江苏启微 58,172,609.41
兴业银行股份有限公司上
海市南支行-合肥至微半 216350100100120688 - 61,994,877.36
导体
上海农村商业银行股份有
限公司张江科技支行-天 50131000832243490 - 215,715,162.94
津波汇
上海农村商业银行股份有
限公司张江科技支行-科 '50131000831666234 - 公司已出售
谱天津
合计 1,355,712,740.19 335,882,649.71
二、前次募集资金的实际使用情况
（一）2017年首次公开发行股票募集资金的实际使用情况
公司2017年首次公开发行股票募集资金使用情况详见附表1。
（二）2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的实际使用情况
公司2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金分别用于“支付本次交易并购整合费用”、“支付收购波汇科技现金对价”、“用于波汇科技在建项目建设”。公司本次承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见附表2。
（三）2019年公开发行可转换公司债券募集资金的实际使用情况
公司2019年公开发行可转换公司债券募集资金分别用于“半导体湿法设备制造项目”、
“晶圆再生项目”。公司本次承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见附表3。
（四）2020年非公开发行股票募集资金的实际使用情况
公司 2020 年非公开发行股票募集资金分别用于“半导体湿法清洗设备扩产项目”、“半导
体晶圆再生二期项目”、“光电子材料及器件制造基地建设项目”和“补充流动资金或偿还债
务”。公司本次承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见附表 4
三、前次募集资金变更情况
截至 2022 年 12月 31 日，公司不存在募集资金实际投资项目变更的情况。
四、前次募集资金投资先期投入项目转让及置换情况
截至 2022 年 12月 30 日，公司不存在募集资金投资项目对外转让或置换的情况。
五、前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明
截至 2022 年 12 月 30 日，公司不存在募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异情况。
六、前次募集资金投资项目最近 3 年实现效益情况说明
（一）2017 年首次公开发行股票募集资金投资项目实现效益情况
公司 2017 年首次公开发行股票募集资金分别
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