上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2021 年年度募集资金存放与实际使用情况的
专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性
陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带
责任。
根据《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要
求》的规定，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“本公司”、“发行
人”）编制的截至 2021 年 12 月 31 日的募集资金存放与实际使用情况的专项报告
如下：
一、募集资金的基本情况
（一）2019 年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金
经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）核发的《关于核准上 海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资金 的批复》（证监许可[2018]2185 号）批准，上海至纯洁净系统科技股份有限公司 （以下简称“公司”） 以非公开发行股票的方式向特定投资者发行 20,985,844 股 股票（以下简称“本次发行”），发行价格为 20.49 元/股，募集资金总额 429,999,943.56 元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为 418,517,624.25 元。
众华会计师事务所（特殊普通合伙）于 2019 年 4 月 22 日对本次发行的资金到位
情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2019）第 3882 号]。公司对 募集资金进行专户存储与管理。
截至 2021 年 12 月 31 日，募集资金使用及结存情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 429,999,943.56
减：发行费用-承销费 10,000,000.00
募集资金到账 419,999,943.56
减：以募集资金置换投资项目自筹资金的金额 148,000,000.00
减：暂时补充流动资金的金额 98,000,000.00
减：支付发行费用 2,584,000.00
减：支付购买资产交易的现金对价 100,012,300.00
减：支付给合波光电购置募投项目固定资产 70,721,449.60
减：手续费支出 1,335.71
减：其他划款 46,083.82
加：利息收入 334,221.61
募集资金余额 968,996.04
（二）2019 年公开发行可转换公司债券
经中国证券监督管理委员会[证监许可〔2019〕2277 号]核准，公司于 2019
年 12 月 20 日公开发行了 356 万张可转换公司债券，期限 6 年，每张面值 100
元，发行总额（募集资金总额）为人民币 35,600.00 万元，扣除各项发行费用后
的募集资金净额为 345,742,075.46 元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于 2019
年 12 月 26 日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众
会字（2019）第 7900 号]。
截至 2021 年 12 月 31 日，本公司募集资金使用及结存情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 356,000,000.00
减：发行费用-承销费（含税） 9,480,000.00
募集资金到账 346,520,000.00
减：投入募投项目-半导体湿法设备制造项目 146,477,248.00
减：投入募投项目-晶圆再生项目 200,152,347.49
减：支付发行费用 349,800.00
减：手续费 1,560.89
减：其他划款 10,788.03
加：存款利息 471,544.41
加：其他划款 200.00
募集资金余额 0.00
（三）2020 年非公开发行股份
经中国证监会[证监许可〔2020〕3020 号]核准，公司以非公开发行股票的方
式发行人民币普通股 47,749,661 股，发行价格 28.79 元/股，实际募集资金总额为
人民币 1,374,712,740.19 元，扣除各项不含税发行费用人民币 20,184,669.49 元后，
募集资金净额为人民币 1,354,528,070.70 元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）
于 2020 年 12 月 23 日对本次发行募集资金到达发行人账户情况进行了审验并出
具了众会字(2020)第 8380 号《验资报告》。
截至 2021 年 12 月 31 日，本公司募集资金使用及结存情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 1,374,712,740.19
减：发行费用-承销费（含税） 19,000,000.00
募集资金到账 1,355,712,740.19
减：募投项目-补充流动资金 404,610,133.29
减：暂时补充流动资金 384,712,700.00
减：支付发行费用 1,648,000.00
减：投入募投项目-半导体湿法清洗设备扩产项目 112,653,610.90
减：投入募投项目-光电子材料及器件制造基地建 48,957,710.00
减：手续费 3,582.25
减：其他划款 422.60
加：其他划款 1,880.00
加：利息收入 1,633,799.47
募集资金余额 404,762,260.62
二、募集资金管理情况
为规范公司募集资金管理，保护中小投资者的权益，公司制定了《上海至纯
洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》（以下简称“《募集资金管理制
度》”），对募集资金的存放、使用及监督等方面均做出了具体明确的规定。
（一）2019 年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金
根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使
用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于 2019
年 4 月 29 日分别与兴业银行股份有限公司上海静安支行、中国光大银行股份有
限公司上海闵行支行、杭州银行股份有限公司上海分行签订了《募集资金专户存
储三方监管协议》（以下简称“《三方监管协议》”），明确各方的权利和义务。上
述《三方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。公司严
格按照《三方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、使用和管理募集资金，
并履行了相关义务，未发生违法违规的情形。
募集资金专户的具体情况如下表所示：
初始存放金额 2021 年 12 月 31 日
开户行 账号
（元） 余额（元）
兴业银行股份有限公司上海静安支行 216250100100149619 13,400,000.00 892,051.08
中国光大银行股份有限公司上海闵行支行 36660188000224932 248,012,300.00 已注销
杭州银行股份有限公司上海闵行支行 3101040160001525416 158,587,643.56
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