上海至纯洁净系统科技股份有限公司
前次募集资金使用情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈
述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董事会根据中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于前次募集资金使用情况报告的规定》（证监发行字[2007]500 号）的规定，将截至 2021年 6月 30 日止的前次募集资金使用情况报告如下：
一、前次募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位情况
1、2017年首次公开发行股票募集资金金额、资金到位情况
公司根据中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司首次公开发行股票的批复》（证监许可[2016]3058号），向社会公开发行人民币普通股（A股）5,200万股，每股面值为人民币1元，每股发行价为1.73元，募集资金总额8,996.00万元，扣除发行费用1,852.47万元，募集资金净额7,143.53万元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2017年1月9日出具的“众会字(2017)第0086号”《验资报告》验证。
2、2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金金额、资金到位情况
公司根据中国证监会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资金的批复》（证监许可[2018]2185号 ）（以下简称“《2185号批复》”），向赵浩、宁波杭州湾新区人保远望启迪科服股权投资中心（有限合伙）、平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）等波汇科技的全体11名股东发行股份并支付现金收购其持有波汇科技的100%出资份额。其中，公司以新增股份26,165,214股支付交易金额43,198.77万元，以现金支付交易金额24,801.23万元，合计交易总金额68,000.00万元。该股份发行事项业经众
华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年3月22日出具的“众会字(2019)第2514号”《验资报告》验证。
根据《2185号批复》，公司以非公开发行股票的方式向特定投资者发行20,985,844股股票，发行价格为20.49元/股，募集资金总额429,999,943.56元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为418,517,624.25元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年4月22日出具的“众会字（2019）第3882号”《验资报告》验证。
3、2019年公开发行可转换公司债券募集资金金额、资金到位情况
经中国证券监督管理委员会[证监许可〔2019〕2277号]核准，公司于2019年12月20日公开发行了356万张可转换公司债券，期限6年，每张面值100元，发行总额（募集资金总额）为人民币35,600.00万元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为345,742,075.46元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2019年12月26日出具的“众会字（2019）第7900号”《验资报告》。
4、2020年非公开发行股份募集资金金额、资金到位情况
2020年11月12日中国证券监督管理委员会《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020号）的核准，公司非公开发行不超过78,005,377股新股，截至2020年12月23日，公司本次非公开发行人民币普通股47,749,661股，发行价格28.79元/股，实际募集资金总额为人民币1,374,712,740.19元，扣除各项不含税发行费用人民币20,184,669.49元后，募集资金净额为人民币1,354,528,070.70元。该募集资金业经众华会计师事务所（特殊普通合伙）于2020年12月23日出具的“众会字（2020）第8380号”《验资报告》。
（二）前次募集资金的存储及管理情况
1、2017年首次公开发行股票募集资金的存储及管理情况
截至2021年6月30日，公司2017年首次公开发行股票募集资金在银行专户的存储情况如下：
单位：元
开户行 银行账号 初始存放金额 2021 年 6 月 30 日余额
杭州银行上海闵行支行 3101040160000641065 55,972,000.00 -
兴业银行股份有限公司 216250100100121760 23,988,000.00 -
上海静安支行
合计 79,960,000.00 -
注：以上两募集资金专户已完成注销手续。
为规范公司募集资金管理，保护中小投资者的权益，公司根据《中华人民 共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上海证券交易所股票上市规 则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等有关 法律、法规和规范性文件的要求，制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公 司募集资金使用管理办法》（以下简称“《募集资金使用管理办法》”），对募 集资金的存放、使用及监督等方面均做出了具体明确的规定。
根据《募集资金使用管理办法》，公司与兴业证券股份有限公司及各开户 行签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，明确各方的权利和义务。公司 严格按照《募集资金专户存储三方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、 使用和管理募集资金，并履行了相关义务，未发生违法违规的情形。
2、2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的存储及管理情 况
截至2021年6月30日，公司2019年发行股份及支付现金购买资产并募集配套 资金使用及结余情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 429,999,943.56
减：发行费用-承销费 10,000,000.00
募集资金到账 419,999,943.56
减：以募集资金置换投资项目自筹资金的金额 148,000,000.00
减：暂时补充流动资金的金额 -
减：支付发行费用 2,584,000.00
减：支付购买资产交易的现金对价 100,012,300.00
减：支付给合波光电购置募投项目固定资产 45,461,449.60
减：手续费支出 759.71
加：利息收入 314,475.31
募集资金余额 124,255,909.56
截至2021年6月30日，公司2019年发行股份及支付现金购买资产并配套募集 资金在银行专户的存储情况如下：
单位：元
开户行 账号 初始存放金额 2021 年 6 月 30 日余额
兴业银行股份有限公司 216250100100149619 13,400,000.00 10,889,436.61
上海静安支行
中国光大银行股份有限 36660188000224932 248,012,300.00 46,115.09
公司上海闵行支行
杭州银行股份有限公司 3101040160001525416 158,587,643.56 113,320,357.86
上海闵行支行
合 计 419,999,943.56 124,255,909.56
根据中国证监会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使 用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修 订）》等法律、法规及公司《募集资金使用管理办法》的规定，公司于2019年4 月29日分别与兴业银行股份有限公司上海静安支行、中国光大银行股份有限公 司上海闵行支行、杭州银行股份有限公司上海分行签订了《募集资金专户存储 三方监管协议》。（以下简称“《三方监管协议》”）。上述《三方监管协议》 与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。
3、2019年公开发行可转换公司债券募集资金存储及管理情况
截至2021年6月30日，公司2019年公开发行可转换公司债券募集资金使用及 结余情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 356,000,000.00
减：发行费用-承销费（含税） 9,480,000.00
募集资金到账 346,520,000.00
减：投入募投项目-半导体湿法设备制造项目 119,245,647.00
减：投入募投项目-晶圆再生项目 200,152,347.49
减：支付发行费用 349,800.00
减：手续费 970.87
加：存款利息
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