688630 科创 芯碁微装

          合肥芯碁微电子装备股份有限公司

  2022 年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单

    一、限制性股票激励计划的分配情况

                                                            占本次预留  占本激励计划
  序号      姓名    国籍        职务      获授限制性股  授予限制性  公告时股本总
                                              票数量(万股)  股票总数的    额的比例
                                                                比例

 一、董事、高级管理人员、核心技术人员

    /        /        /          /              /            /            /

 二、其他激励对象

            核心骨干员工（45 人）                21.50      100.00%      0.18%

                    合计                        21.50      100.00%      0.18%

  注：1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票
均未超过公司总股本的 1%。公司全部有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超
过股权激励计划提交股东大会审议时公司股本总额的 20%。

  2、本计划预留授予激励对象不包括董事、高级管理人员、独立董事、监事、外籍员工、
单独或合计持有上市公司 5%以上股份的股东、上市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

  3、上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

                                合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

                                                    2023 年 4 月 19 日