证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-048
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
前次募集资金使用情况专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
根据中国证券监督管理委员会《关于前次募集资金使用情况报告的规定》（证监发行字[2007]500 号）的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称本
公司或公司）对截至 2022 年 6 月 30 日的前次募集资金使用情况报告如下：
一、前次募集资金情况
（一）实际募集资金金额、资金到账时间
经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350 号）同意注册，本公司于 2021 年3 月向社会公开发行人民币普通股（A 股）3,020.2448 万股，每股发行价为 15.23元，应募集资金总额为人民币 45,998.33 万元，根据有关规定扣除发行费用
4,362.51 万元后，实际募集资金净额为 41,635.82 万元。该募集资金已于 2021 年
3 月 29 日到账，上述资金到账情况业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）容诚验字[2021]230Z0034 号《验资报告》验证。
（二）前次募集资金在专项账户的存放情况
截至 2022 年 6 月 30 日，募集资金专户余额为 15,482.82 万元，其中使用闲置
募集资金用于现金管理的理财结算账户余额 15,000.05 万元（包含东亚银行（中国）有限公司合肥分行的募集资金理财产品专用结算账户里期末尚未转回至募集资金
具体明细列示如下：
单位：元
银行账户名称 银行账号 2022 年 6 月 30 日 备注
余额
中国建设银行股份有
限公司合肥政务文化 34050146480800002478 3,717,724.23
新区支行
中国农业银行股份有 12187001040099999 399,491.65
限公司合肥分行
中信银行股份有限公 8112301011000711239 710,445.88
司合肥分行
杭州银行股份有限公 3401040160001009365 90,000,000.00 大额存单
司合肥科技支行
结构性存款，该账户含
东亚银行（中国）有 149000252760400 60,000,500.00 有期末尚未转回至募集
限公司合肥分行 资金专项账户的利息金
额 500 元
合计 154,828,161.76
二、前次募集资金的实际使用情况说明
（一）前次募集资金使用情况说明
前次募集资金使用情况对照表详见本报告附件。
（二）前次募集资金实际投资项目变更情况说明
公司于 2022 年 4 月 27 日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第十
二次会议，于 2022 年 5 月 18 日召开了 2021 年度股东大会，审议通过了《关于首
次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，
同意公司首次公开发行股票部分募投项目“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升
级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充流动资金。公司将该项目节余募
集资金 6,849.44 万元（包含利息收入扣除银行手续费后净额 437.92 万元）永久性
补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对该募集资金专户办理注销手续，本
次变更用途的募集资金占前次募集资金总额的比例为 15.40%。该事项已经公司董
事会、股东大会审议通过，独立董事、监事会均发表了明确同意意见，保荐机构出
具了核查意见。具体内容详见公司于 2022 年 4 月 28 日在上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）上披露的相关公告。
（三）前次募集资金项目的实际投资总额与承诺的差异内容和原因说明
单位：万元
募集前 募集后 实际投 差异
募集资金投资 承诺投 承诺投 资总额 （3）= 差异原因
项目 资总额 资总额 （2） （1）-
（1） （2）
公司在保证项目建设
质量的前提下，结合
实际情况，节约了部
高端 PCB 激光 分设备采购投入；同
直接成像 20,770. 20,770. 14,358. 6,411.5 时加强项目实施管
（LDI）设备 00 00 48 2 控，合理降低了项目
升级迭代项目 投入金额。目前该项
目已结项并将节余募
集资金永久补充流动
资金。
晶圆级封装
（WLP）直写 9,380.0 5,880.0 1,019.0 4,860.9 该项目仍处于建设期
光刻设备产业 0 0 5 5
化项目
平板显示 10,836. 8,630.8 4,469.8 4,160.9
（FPD）光刻 00 2 5 7 该项目仍处于建设期
设备研发项目
微纳制造技术 6,355.0 6,355.0 5,900.1
研发中心建设 0 0 454.82 8 该项目仍处于建设期
项目
合计 47,341. 41,635. 20,302 21,333. —
00 82 .20 62
（四）前次募集资金投资项目对外转让或置换情况说明
公司于 2021 年 6 月 15 日召开了第一届董事会第十二次会议、第一届监事会第
八次会议，审议了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币 5,884.91 万元置换预先投入的募投项目及已支付发行费用的自筹资金。独立董事、监事会均发表了明确的同意意见，保荐机构出具了核查意
见，并由会计师事务所出具了鉴证报告。具体内容详见公司于 2021 年 6 月 17 在上
海证券交易所网站（www.sse.com.cn）上披露的相关公告。
（五）闲置募集资金情况说明
公司于 2021 年 4 月 22 日召开第一届董事会第十一次会议、第一届监事会第七
次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排的前提下，使用最高不超过人民币 30,000 万元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，自公司股东大会审议通过之日起 12 个月内有效。公司于
2021 年 5 月 14 日召开了 2020 年年度股东大会，审议通过了《关于使用暂时闲置
募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。
2022 年 4 月 27 日，经第一届董事会第十七次会议及第一届监事会第十二次会
议审议，使用不超过人民币 30,000 万元的暂时闲置募集资金进行现金管理，资金可循环滚动使用。
截止 2022 年 6 月 30 日，公司使用闲置募集资金用于现金管理的余额为
15,000.00 万元，公司使用闲置募集资金已购买未到期的理财产品的情况如下：
存放银行 产品名称 产品类型 金额（万 期限
元）
杭州银行股份有 CA20G12836 单位大 2021.5.21-
限公司合肥科技 额存单 G128 期 3 年 大额存单 5,000.00 2024.5.21
支行
杭州银行股份有 单位大额存单新客 2022.2.25-
限公司合肥科技 G07 期 3 年- 大额存单 4,000.00 2025.2.25
支行 CA22NG0736
东亚银行（中 澳元/美元双区间单 2022.5.27-
国）有限公司合 层触及结构 结构性存款 6,000.00 2022.8.17
肥分行
合计 15,000.00
三、前次募集资金投资项目实现效益情况说明
（一）前次募集资金投资项目实现效益情况对照表
公司在首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书中未对募集资金的使用效益做出任何承诺，因此前次募集资金投资项目实现效益情况对照表不适用。
（二）前次募集资金投资项目无法单独核算效益的情况说明
“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”有助于为公司未来的 OLED 高端产线直写光刻设备产业化打下坚实的基础，提高公司综合竞争力；“微纳制造技术研发中心建设项目”有助于公司对现有技术研发平台进行全面升级，改善公司的研发环境，公司的综合研发实力将得到进一步提升，上述两个项目产生的效益无法单独核算，所实现的效益体现在公司的整体业绩中。
（三）募集资金投资项目的累计实现的收益低于承诺的累计收益说明
不适用。
四、前次发行涉及以资产认购股份的资产运行情况说明
截至 2022 年 6 月 3
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