688082 科创 盛美上海

        盛美半导体设备（上海）股份有限公司

  2023 年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单

                  （截至授予日）

  一、限制性股票激励计划分配情况表

  本激励计划授予的限制性股票在各激励对象间的分配情况如下表所示：

                                          获授限制性 占授予限制性 占本激励计划
    姓名        国籍          职务        股票数量  股票总数比例公告日股本总
                                            (万股)                额比例

一、董事、高级管理人员、核心技术人员（10人）

  HUI WANG      美国      董事长、      125.0000    9.3914%    0.2883%
                            核心技术人员

    王坚        中国    董事、总经理、  93.0000    6.9872%    0.2145%
                            核心技术人员

 HAIPING DUN  中国台湾        董事        2.0000    0.1503%    0.0046%

    罗千里      中国台湾        董事        2.0000    0.1503%    0.0046%

 STEPHEN SUN-    美国        董事        2.0000    0.1503%    0.0046%
  HAI CHIAO

    陈福平        中国      副总经理、    72.0000    5.4095%    0.1661%
                            核心技术人员

  LISA YI LU      美国      财务负责人    31.0000    2.3291%    0.0715%
    FENG

    罗明珠        中国      董事会秘书    31.0000    2.3291%    0.0715%

    李学军        中国    核心技术人员    15.0000    1.1270%    0.0346%

    王俊        中国    核心技术人员    15.0000    1.1270%    0.0346%

二、董事会认为需要激励的其他人员（498人）

 核心管理（业务）骨干、中层管理（业务）人  676.8500  50.8527%    1.5612%
      员、优秀基层技术（业务）员工

首次授予合计（508人）                      1,064.8500  80.0038%    2.4561%

三、预留部分                                266.1500  19.9962%    0.6139%

                  合计                    1,331.0000  100.0000%    3.0700%

  二、相关说明

  1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股
票均未超过公司总股本的1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东大会时公司股本总额的20%。

  2、本计划激励的激励对象不包括公司独立董事、监事。

                                  盛美半导体设备（上海）股份有限公司
                                                              董事会
                                                        2023年8月3日