证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2023-017
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2022 年度募集资金存放与使用情况专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金的金额及到账情况
1、2019 年首次公开发行股票募集资金
经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335 号）同意注册，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“本公司”、“公司”）向社会公开发行人民币普通股（A 股）21,000,000 股，每股面值为人民币 1 元，每股发行价为人民币26.97 元，应募集资金总额为 566,370,000.00 元，根据有关规定扣除发行费用60,625,896.22 元后，实际募集资金净额为 505,744,103.78 元。以上募集资金已于
2019 年 12 月 10 日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合
伙）审验并出具会验字[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498 号），公司于 2022
年 6 月向特定对象发行人民币普通股股票 8,045,699.00 股，每股面值 1 元，发行价
格为人民币 124.29 元/股，募集资金总额为人民币 999,999,928.71 元，扣除不含税的发行费用人民币 9,915,093.67 元，实际募集资金净额为人民币 990,084,835.04 元。
以上募集资金已于 2022 年 6 月 8 日到位，募集资金到位情况已由容诚会计师事务
所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况
1、2019 年首次公开发行股票募集资金
2022 年度，本公司 2019 年首次公开发行股票募集资金使用情况为：（1）对
募集资金项目投入 49,789,523.28 元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目49,176,566.17 元，高端晶圆处理设备研发中心项目 612,957.11 元；（2）使用节余募集资金补充流动资金 9,284,650.48 元；（3）归还闲置募集资金暂时补充流动资
金 60,000,000.00 元；2022 年度公司累计使用募集资金 109,074,173.76 元，支付银
行手续费（不含增值税）4,226.47 元，募集资金专用账户利息收入为 941,994.84 元，
募集资金专用账户 2022 年 12 月 31 日余额合计为 4,303,337.01 元。
单位：人民币元
项目 累计金额
募集资金净额 505,744,103.78
减：截至 2022 年 12 月 31 日直接对募集资金项目投入 387,316,021.56
其中： 高端晶圆处理设备产业化项目 248,133,621.56
高端晶圆处理设备研发中心项目 139,182,400.00
减：截至 2022 年 12 月 31 日使用闲置资金永久补充流动资金 76,600,000.00
减：截至 2022 年 12 月 31 日使用闲置资金暂时补充流动资金 190,000,000.00
减：截至 2022 年 12 月 31 日节余募集资金补流 9,284,650.48
加：截至 2022 年 12 月 31 日募集资金理财收益 11,579,663.95
加：截至 2022 年 12 月 31 日募集资金利息收入扣除手续费净额 10,180,241.32
加：截至 2022 年 12 月 31 日归还暂时补充流动资金 140,000,000.00
截至 2022 年 12 月 31 日募集资金余额 4,303,337.01
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
2022 年度，本公司 2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金使用情况为：
对募集资金项目投入 228,937,980.68 元，其中：上海临港研发及产业化项目88,843,641.77 元，补充流动资金 140,094,338.91 元。2022 年度公司累计使用募集资金 228,937,980.68 元，支付银行手续费（不含增值税）2,969.92 元，募集资金专用账户利息收入为 2,247,786.66 元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资
收益 9,877,238.54 元，募集资金专用账户 2022 年 12 月 31 日余额合计为
783,184,003.31 元。具体明细如下：
项目 累计金额
募集资金总额 999,999,928.71
减：截至 2022 年 12 月 31 日直接对募集资金项目投入 228,937,980.68
其中： 临港研发及产业化项目 88,843,641.77
高端晶圆处理设备产业化项目（二期） -
补充流动资金项目 140,094,338.91
加：截至 2022 年 12 月 31 日募集资金理财收益 9,877,238.54
加：截至 2022 年 12 月 31 日募集资金利息收入扣除手续费净额 2,244,816.74
截至 2022 年 12 月 31 日募集资金余额 783,184,003.31
二、募集资金管理情况
公司根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规
定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于 2019 年 4 月 24 日召开 2019 年第三
次临时股东大会，审议通过了《关于制定<募集资金管理办法>的议案》。《募集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
1、2019 年首次公开发行股票募集资金
公司于 2019 年 12 月 11 日分别在中信银行沈阳和平支行（账号
8112901012900643057 ） 、 中 国 建 设 银 行 沈 阳 城 内 支 行 （ 账 号
21050139000800001255）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号 124904600110111）
开设账户作为募集资金专项账户。2019 年 12 月 11 日，公司分别与中信银行股份
有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》。
2021 年 9 月 8 日，公司因 2021 年年度向特定对象发行 A 股股票变更保荐机
构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为
进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第 1 号——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管
协议》的履行不存在问题。截至 2022 年 12 月 31 日，公司均严格按照该《募集资
金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。
截至 2022 年 12 月 31 日，募集资金专项账户余额情况如下：
单位：人民币元
银行名称 银行帐号 余额
中信银行沈阳和平支行 8112901012900643057 已销户
中国建设银行沈阳城内支行 21050139000800001255 0.00
招商银行沈阳浑南西路支行 124904600110111 4,303,337.01
合计 4,303,337.01
2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金
2022 年 6 月 7 日，公司分别在平安银行沈阳分行（账号 15912666666677）、
中信银行沈阳南站支行（账号 8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路支
行（账号 124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022 年 6 月 16 日，
分别与平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署《募集资金专户存储三方监管协议》。
2022 年 6 月 7 日，公司在招商银行上海自贸试验区临港新片区支行（账号
121942302510107）开设账户作为募集资金专项账户。2022 年 6 月 27 日，公司董
事会同意使用募集资金 25,000 万元向全资子公司上海芯源微企业发展有限公司进
行增资，用于实施募投项目“上海临港研发及产业化项目”。2022 年 7 月 27 日，
公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片区支行）签
上述《募集资金专户存储三方监管协议》、《募集资金专户
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