公司代码:688037 公司简称:芯源微
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2022 年年度报告摘要
第一节 重要提示
1 本年度报告摘要来自年度报告全文,为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规
划,投资者应当到上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)网站仔细阅读年度报告全文。2 重大风险提示
公司已在本报告中详细阐述公司在生产经营过程中可能面临的各种风险,敬请查阅“第三节管理层讨论与分析”之“风险因素”。敬请投资者注意投资风险。
3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、
完整性,不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。
4 公司全体董事出席董事会会议。
5 容诚会计师事务所(特殊普通合伙)为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
6 公司上市时未盈利且尚未实现盈利
□是 √否
7 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
公司于 2023 年 4 月 17 日召开的第二届董事会第十次会议审议通过了《关于公司 2022 年度利
润分配及资本公积转增股本方案的议案》,以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数,拟向
全体股东每 10 股派发现金红利 4 元(含税),以此计算共计拟派发 37,047,359.60 元(含税)。拟
以资本公积向全体股东每 10 股转增 4.8 股,不送红股。截至 2022 年 12 月 31 日,公司总股本为
92,618,399 股,若以此为基数计算,公司拟合计转增 44,456,831 股,本次转增后公司总股本将增加至 137,075,230 股(最终转增股数及总股本数以中国证券登记结算有限公司上海分公司最终登记结果为准)。
该利润分配及资本公积转增股本方案尚需公司 2022 年年度股东大会审议通过后方可实施。8 是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用
第二节 公司基本情况
1 公司简介
公司股票简况
√适用 □不适用
公司股票简况
股票种类 股票上市交易所 股票简称 股票代码 变更前股票简称
及板块
A股 上海证券交易所 芯源微 688037 /
科创板
公司存托凭证简况
□适用 √不适用
联系人和联系方式
联系人和联系方式 董事会秘书(信息披露境内代表) 证券事务代表
姓名 李风莉 刘书杰
办公地址 辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号 辽宁省沈阳市浑南区彩云
路1号
电话 024-86688037 024-86688037
电子信箱 688037@kingsemi.com 688037@kingsemi.com
2 报告期公司主要业务简介
(一) 主要业务、主要产品或服务情况
公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机),可用于 8/12 英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)及 6 英寸及以下单晶圆处理(如化合物、MEMS、LED 芯片制造等环节)。
作为公司标杆产品,光刻工序涂胶显影设备系集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备,主要与光刻机(芯片生产线上最庞大、最精密复杂、难度最大、价格最昂贵的设备)配合进行作业,通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理,从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。作为光刻机的输入(曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影),涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成,其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸多工艺(诸如蚀刻、离子注入等)中图形转移的结果也有着深刻的影响。
(二) 主要经营模式
1、盈利模式
公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务,通过向下游公司销售光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备等产品实现收入和利润。报告期内,公司主营业务收入来源于半导体专用设备产品的销售,其他业务收入来源于设备相关配件销售及维修服务等。
2、采购模式
公司主要根据生产订单物料、研发物料、售后服务物料的需求计划和安全库存的需要等制定采购计划,采取与供应商单签合同或签订年度框架合同等方式开展采购。为保证公司产品的质量和性能,公司对供应商进行统一管理,主要考察供应商的资质实力、产品情况、售后服务等方面,经外部供方调查、样品试用或非标准部件定制加工验证通过后确定合格供应商名录,并持续更新及跟踪评级。
3、研发模式
公司以自主研发为主,充分结合产品技术国际发展趋势及客户实际需求,以核心基础技术研究、核心单元零部件研究、整机研发应用并重为原则,确定公司研发方向和研发项目,建立了机械、电气、软件等多模块协同配合,公司级与部门级研发项目相结合的研发创新机制。同时,公司技术管理部负责对研发项目的立项评审,组织下达设计与开发任务,开展跟踪管理、结项验收评价等具体实施管理。
4、生产模式
公司采用在手订单生产为主、潜在订单预投生产为辅的生产模式。公司根据已签单客户以及有明确需求且供期紧张的潜在客户的具体需求进行产品定制化设计及生产制造,以满足客户对产品不同的技术指标和供期的需求,同时也能合理管控公司在产品的规模和呆滞风险。
5、销售模式
公司主要采取“直销为主、代销为辅”的销售模式。直销模式下,公司通过商务谈判、招投
标等方式获取订单;委托代理商销售模式下,公司与特定地区代理商签订产品销售区域代理协议,由其负责在特定地区代理销售公司相关产品,公司向其支付一定比例的代理佣金。
公司配备了专业的销售与服务团队,主要负责售前客户需求分析、商务谈判或招投标环节及销售设备的安装、调试、保修、维修、技术咨询及客户端人员培训等售后工作。公司始终秉承“客户第一,为客户创造价值”的营销理念,致力于为客户提供“专业精品”的产品及服务。
(三) 所处行业情况
1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛
(1)行业的发展阶段、基本特点
半导体被称为制造业皇冠上的明珠,半导体产业是信息技术产业的核心,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业,其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。作为“工业粮食”,半导体芯片被广泛地应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子、物联网等产业,是绝大多数电子设备的核心组成部分。根据国际货币基金组织测算,每 1 美元半导体芯片的产值可带动相关电子信息产业 10 美元产值,并带
来 100 美元的 GDP,这种 100 倍价值链的放大效应奠定了芯片行业在国民经济中的重要地位。
为推动半导体产业发展,增强产业创新能力和国际竞争力,带动传统产业改造和产品升级换代,进一步促进国民经济持续、快速、健康发展,我国先后出台《科技部重点支持集成电路重点专项》、《集成电路产业“十三五”发展规划》、《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》等鼓励和支持半导体设备产业发展的政策,为我国半导体设备行业发展营造了良好的政策环境。2022 年 11 月,辽宁省政府发布了《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》,在企业销售规模奖励、投资建设项目、新产品销售奖励、研发费用补助、人才引进激励等多个维度大力支持辽宁省集成电路装备产业发展。
从全球半导体设备行业来看,随着下游电子、汽车、通信等行业需求的稳步增长,以及物联网、AI、云计算及大数据等新兴领域的快速发展,集成电路产业面临着新型芯片带来的产能扩张
需求,为半导体设备行业带来广阔的市场空间。2022 年 12 月,SEMI 发布了《2022 年度总半导体
设备预测报告》。根据 SEMI 数据,2022 年全球晶圆厂前道设备投资将达到 948 亿美元的新行业纪
录,同比增长 8.3%。SEMI 预计,2023 年受全球半导体库存调整等因素影响,晶圆厂前道设备投
资将降至 760 亿美元,并将在汽车和计算领域以及一系列新兴应用驱动下在 2024 年复苏至 920
从我国半导体设备行业来看,集成电路产业国际产能不断向我国大陆地区转移,据 SEMI 统计,
2016-2021 年,我国大陆的半导体设备市场规模从 64.60 亿美元增长至 296 亿美元,近五年来年均
复合增长率达到 35.58%,远高于全球市场增速。2022 年下半年受多重因素交叠影响,国内晶圆厂扩产增速进入放缓阶段,SEMI 在随后的报告中指出,国内半导体的长期强劲需求后续仍将推动产
能健康增长,全球市场份额整体占有率将由 2022 年的 22%增加到 2026 年的 25%,达到每月 240
万片晶圆。
(2)主要技术门槛
公司所处的半导体设备行业属于典型的技术密集型行业,涉及电子、机械、化工、材料、信息等多学科领域,是多门类跨学科知识的综合应用,具有较高的技术门槛。半导体设备行业涉及国家基础科学综合实力的比拼,具有技术壁垒高、价值量高、研发周期长等特点。由于半导体工艺流程复杂,对设备依赖度较高,设备性能直接影响半导体制造的产品品质、工艺效率及良率,最终影响到半导体企业的盈利能力和全球竞争力。因此,要想实现中国半导体产业自主可控模式的崛起,完成设备环节的国产化是其至关重要的环节之一。目前,以美国应用材料、荷兰阿斯麦、美国泛林集团、日本东京电子、美国科天等为代表的国际知名企业仍占据全球半导体设备市场的主要份额。在需求拉动和国家支持下,我国半导体产业链得以不断完善,但仍然存在供给能力不足的问题,我国半导体市场国产替代存在较大市场空间。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施,我国半导体设备行业迎来了前所未有的发展契机,半导体设备的国产化进程将不断推进。
以公司生产的前道涂胶显影设备为例,作为晶圆生产过程中配合光刻机工作的重要工艺设备,其产品结构复杂(包括约十余个功能模块组及配套机器人)、单元众多(百余个功能单元)、配件繁杂(数万余个零部件),同时还要确保平均每小时数千次的机械运动速度。前道涂胶显影设备技术涵盖机械运动、温湿度及内环境控制、系统调度及控制、化学反应及化学品管控等,是多学科高度集成的现代高科技装备,对生产厂商的技术储备、工艺水平提出了较高要求。此外,影响前道涂胶显影机实现量产销售的难点还包括客户端工艺验证,需要协调下游晶圆厂在不影响其生产线正常生产的情况下,提供光刻机、掩膜版、检测设备及程序、客户产品片等资源配合。
2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况
半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒,以美国应用材料、荷兰阿斯麦、美国泛林集团、日本东京电子、美国科天等为代表的国际知名企业占据了全球半导体设备
市场的主要份额。
前道涂胶显影设备主要被日本东京电子所垄断,报告期内,公司前道涂胶显影机 offline、I-line、K