688037 科创 芯源微

          沈阳芯源微电子设备股份有限公司

监事会关于公司 2021 年限制性股票激励计划首次授予部分
          第一个归属期归属名单的核查意见

  沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）等相关法律、法规及规范性文件和《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，对公司 2021 年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）首次授予部分第一个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：
  公司2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期36名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本次激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

  监事会同意本次符合条件的 36 名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为19.47万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

                                沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会
                                            2022 年 4 月 28 日