证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2022-013
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2021 年度募集资金存放与使用情况专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金的金额及到账情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335 号）同意注册，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“本公司”、“公司”）向社会公开发行人民币普通股（A 股）21,000,000 股，每股面值为人民币 1 元，每股发行价为人民币26.97 元，应募集资金总额为 566,370,000.00 元，根据有关规定扣除发行费用60,625,896.22 元后，实际募集资金净额为 505,744,103.78 元。以上募集资金已于
2019 年 12 月 10 日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合
伙）审验并出具会验字[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况
2021 年度，本公司募集资金使用情况为：（1）对募集资金项目投入
229,659,729.64 元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目 153,233,358.67 元，高端晶圆处理设备研发中心项目 76,426,370.97 元；（2）使用超募资金永久补充流动资金 38,300,000.00 元；（3）使用闲置资金暂时补充流动资金 60,000,000.00 元。2021年度公司累计使用募集资金 327,959,729.64 元，支付银行手续费（不含增值税）10,121.39 元，募集资金专用账户利息收入为 5,967,959.13 元，使用暂时闲置募集
单位：人民币元
项目 金额
募集资金净额 505,744,103.78
减：截至 2021 年 12 月 31 日直接对募集资金项目投入 337,526,498.28
其中：高端晶圆处理设备产业化项目 198,957,055.39
高端晶圆处理设备研发中心项目 138,569,442.89
减：截至 2021 年 12 月 31 日使用超募资金永久补充流动资金 76,600,000.00
减：截至 2021 年 12 月 31 日使用闲置募集资金暂时补充流动资金 60,000,000.00
加：截至 2021 年 12 月 31 日募集资金理财收益 11,579,663.95
加：截至 2021 年 12 月 31 日募集资金利息收入扣除手续费净额 9,242,472.95
募集资金余额 52,439,742.40
二、募集资金管理情况
公司根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规
定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于 2019 年 4 月 24 日召开 2019 年第三
次临时股东大会，审议通过了《关于制定<募集资金管理办法>的议案》。《募集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
2019 年 12 月 11 日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设
银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）签署《募集资金专
户存储三方监管协议》。公司于 2019 年 12 月 11 日在中信银行沈阳和平支行开设
募集资金专项账户（账号 8112901012900643057），于 2019 年 12 月 11 日在中国
建设银行沈阳城内支行开设募集资金专项账户（账号 21050139000800001255），
于 2019 年 12 月 11 日在招商银行沈阳浑南西路支行开设募集资金专项账户（账号
124904600110111）。
2021 年 9 月 8 日，公司因 2021 年年度向特定对象发行 A 股股票变更保荐机
构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股
进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第 1 号——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管
协议》的履行不存在问题。截至 2021 年 12 月 31 日，公司均严格按照该《募集资
金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。
截至 2021 年 12 月 31 日，募集资金专项账户余额情况如下：
单位：人民币元
银行名称 银行帐号 余额
中信银行沈阳和平支行 8112901012900643057 5,634,426.75
中国建设银行沈阳城内支行 21050139000800001255 42,666,339.03
招商银行沈阳浑南西路支行 124904600110111 4,138,976.62
合计 52,439,742.40
三、本报告期募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2021 年 12 月 31 日，募集资金投资项目的资金使用情况详见附表 1：募
集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入 14,034,042.00 元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入 389,400.00 元，使用自筹资金支付发行费用人民币 2,597,169.81 元。
2020 年 4 月 24 日，公司召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七
次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金 17,020,611.81 元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上
述以募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至 2020 年 12 月31 日，上述自筹资金 17,020,611.81 元已用募集资金置换完毕。
（三）对闲置募集资金进行现金管理情况
2019 年 12 月 25 日，公司召开第一届董事会第十三次会议和第一届监事会第
六次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 46,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
2020 年 12 月 24 日，公司召开第一届董事会第二十一次会议和第一届监事会
第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 30,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
截至 2021 年 12 月 31 日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为 0 元。
（四）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
公司于 2020 年 4 月 24 日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第
七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，
2020 年 5 月 25 日，公司召开 2019 年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公
司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00 万元用于永久补充流动资金。
公司于 2021 年 6 月 11 日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会
第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，
2021 年 6 月 28 日，公司召开 2021 年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，
同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币 3,830.00 万元用于永久补充流动资金。
公司使用部分超募资金永久补充流动资金仅在与主营业务相关的生产经营中使用；在超募资金永久补充流动资金后的 12 个月内，不进行高风险投资或对外提供财务资助。公司最近 12 个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的 30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。
截至 2021 年 12 月 31 日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为
7,660.00 万元。
（五）使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
公司于 2020 年 7 月 2 日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八
次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币 8,000 万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效
率，降低公司财务成本。截至 2021 年 6 月 30 日，公司已将上述临时补充流动资
金的人民币 8,000 万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于 2021
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