证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-024
中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于调整公司 2022 年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性
股票激励计划相关事项的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
中微半导体设备（上海）股份有限公司（下称“中微公司”或“公司”）于 2026
年 3 月 30 日召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关于调整公司 2022
年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性股票激励计划相关事项的议案》，现将有关事项说明如下：
一、公司 2022 年限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况
1、2022 年 3 月 9 日，公司召开第二届董事会第三次会议，会议审议通过
了《关于公司<2022 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于公司<2022 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》、《关于核实公司<2022 年限制性股票激励计划激励对象名单>的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。
2、2022 年 3 月 10 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）
披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事 Chen,Shimin（陈世敏）先生作为征集人
就 2022 年第二次临时股东大会审议的公司 2022 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。
3、2022 年 3 月 9 日至 2022 年 3 月 18 日，公司对本激励计划拟激励
对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本
激励计划激励对象有关的任何异议。2022 年 3 月 19 日，公司于上海证券交易
所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2022 年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-010）。
4、2022 年 3 月 25 日，公司召开 2022 年第二次临时股东大会，审议并
通过了《关于公司<2022 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。
5、2022 年 3 月 26 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）
披露《关于公司 2022 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-012）。
6、2022 年 3 月 29 日，公司召开第二届董事会第四次会议与第二届监事
会第三次会议，审议通过了《关于向激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
7、2023 年 3 月 31 日，公司召开第二届董事会第十二次会议和第二届监事
会第十次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于公司 2022 年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
8、2023 年 10 月 26 日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事
会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限制
性股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
9、2024 年 3 月 27 日，公司召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监
事会第十八次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年限制性股票激励计划部
分限制性股票的议案》、《关于公司 2022 年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
10、2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年、2023 年及2024 年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
11、2025 年 4 月 17 日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三节监事会
第二次会议，审议通过了《关于作废处理 2022 年、2024 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于 2022 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
12、2026 年 3 月 30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关
于调整公司 2022 年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性股票激励计划相关事项
的议案》、《关于作废处理 2022 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于 2022 年限制性股票激励计划第四个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
二、公司 2023 年限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况
1、2023 年 3 月 30 日，公司召开第二届董事会第十一次会议，会议审议通
过了《关于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于核实公司<2023 年限制性股票激励计划激励对象名单>的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。
2、2023 年 3 月 31 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-017），根据公
司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就 2022 年年度股东大会审议的公司 2023 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。
3、2023 年 4 月 4 日至 2023 年 4 月 13 日，公司对本激励计划拟激励对象的
姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计
划激励对象有关的任何异议。2023 年 4 月 14 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2023 年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。
4、2023 年 4 月 20 日，公司召开 2022 年年度股东大会，审议并通过了《关
于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。
5、2023 年 4 月 21 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
《关于公司 2023 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。
6、2023 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事
会第十三次会议，审议通过了《关于调整公司 2023 年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向 2023 年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
7、2023 年 10 月 26 日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事
会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年及 2023 年限制
性股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
8、2024 年 6 月 12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司 2020 年、2022 年、2023 年及2024 年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
9、2025 年 5 月 28 日，公司召开第三届董事会第四次会议和第三届监事会
第四次会议，审议通过了《关于作废处理 2023 年限制性股票激励计划部分限制
性股票的议案》《关于公司 2023 年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
10、2026 年 3 月 30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关
于调整公司 2022 年、2023 年、2024 年及 2025 年限制性股票激励计划相关事项
的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
三、公司 2024 年限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况
1、2024 年 3 月 27 日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议
通过了《关于公司<2024 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。
同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司<2024年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于核实公司<2024 年限制性股票激励计划激励对象名单>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。
2、2024 年 3 月 28 日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2024-023）。根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就 2023 年年度股东大会审议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。
3、2024 年 3 月 28 日至 2024 年 4 月 10 日，公司对本激励计划拟激励对象
的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员
工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024 年 4 月 11 日，公司于
上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2024 年限制性股票
