688012 科创 中微公司

            上海市锦天城律师事务所关于

        中微半导体设备（上海）股份有限公司

2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件暨作废部分限制性股票、调整 2020 年股票增值
  权激励计划行权价格暨第四个行权期符合行权条件之
                    法律意见书

      地址：上海市浦东新区银城中路 501 号上海中心大厦 9/11/12 层

      电话：021-20511000        传真：021-20511999

      邮编：200120


              上海市锦天城律师事务所关于

          中微半导体设备（上海）股份有限公司

2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件暨作废部分限制性股票、调整 2020 年股票增值权激励计
  划行权价格暨第四个行权期符合行权条件之法律意见书
致：中微半导体设备（上海）股份有限公司

  上海市锦天城律师事务所（以下简称“本所”）接受公司的委托，担任公司2020 年限制性股票激励计划与股票增值权激励计划的专项法律顾问。

  本所律师根据《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）及《科创板上市公司自律监管指南第 4 号——股权激励信息披露》（以下简称“《监管指南 4 号》”）等有关法律、法规、规范性文件及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）的有关规定，就公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件暨作废部分限制性股票、调整 2020 年股票增值权激励计划行权价格暨第四个行权期符合行权条件相关事项出具本法律意见书。

  对出具本法律意见书，本所及本所律师声明如下：

  1、本所及本所律师依据《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
  2、为出具本法律意见书，本所及本所律师审阅了公司提供的与出具本法律意见书相关的文件资料，对相关的事实和资料进行了核查和验证。公司对本所保
证已经提供了本所及本所律师认为出具本法律意见书所必需的、真实的原始书面材料、副本材料或其他口头材料，并保证上述文件真实、准确、完整，文件上所有签字与印章真实，复印件与原件一致。

  3、对于出具本法律意见书至关重要而又无法得到独立的证据支持的事实，本所及本所律师依赖于有关政府部门、公司、其他有关单位或有关人士出具或提供的证明文件、证言。

  4、本所及本所律师不对有关审计、会计等专业事项和报告发表意见。本所及本所律师在本法律意见书中对有关会计报表、审计报告的某些数据和结论进行引述时已履行了必要的注意义务，但该等引述并不意味着本所及本所律师对该等数据和相关结论的合法性、真实性和准确性做出任何明示或默示的担保或保证，对于该等文件及其所涉内容，本所及本所律师依法并不具备进行核查和做出判断的合法资格。

  5、本所及本所律师同意将本法律意见书作为公司本次实施事项的必备法律文件之一，随同其他材料一同提交上交所予以公开披露，并愿意对本所及本所律师出具的法律意见书依法承担相应的法律责任。

  6、本法律意见书仅供公司实施本次实施事项之目的而使用，除非事先取得本所及本所律师的书面授权，任何单位和个人均不得将本法律意见书或其任何部分用作任何其他目的。

  基于上述，本所及本所律师按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出具本法律意见书，具体如下：


                          释 义

  在本法律意见书中，除非文义另有所指，下列词语具有以下含义：

公司、中微公司          指  中微半导体设备（上海）股份有限公司

《限制性股票激励计划》  指  《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年限制性
                              股票激励计划（草案修订稿）》

《考核管理办法》        指  《2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管
                              理办法》

《股票增值权激励计划》  指  《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年股票增
                              值权激励计划（草案修订稿）》

限制性股票激励计划      指  中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年限制性股
                              票激励计划

股票增值权激励计划      指  中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年股票增值
                              权激励计划

限制性股票              指  符合本计划授予条件的激励对象，在满足相应归属条件
                              后分次获得并登记的公司股票

                              公司授予激励对象在一定条件下通过模拟股票市场价格
股票增值权              指  变化的方式，获得由公司支付的兑付价格与行权价格之
                              间差额的权利

                              中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年限制性股
本次实施                指  票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件暨
                              作废部分限制性股票、调整 2020 年股票增值权激励计划
                              行权价格暨第四个行权期符合行权条件相关事项

中国证监会              指  中国证券监督管理委员会

上交所                  指  上海证券交易所

《公司法》              指  《中华人民共和国公司法》

《证券法》              指  《中华人民共和国证券法》

《管理办法》            指  《上市公司股权激励管理办法》

《上市规则》            指  《上海证券交易所科创板股票上市规则》

《监管指南 4 号》        指  《科创板上市公司自律监管指南第 4 号——股权激励信
                              息披露》

《公司章程》            指  《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》


                      正 文

  一、已履行的决策程序和信息披露情况

  经本所律师核查，截至本法律意见书出具之日，为实施本次实施，公司已履行如下批准和授权程序：

  （一）2020 年限制性股票激励计划

  1、2020 年 3 月 18 日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过
了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

  同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

  2、2020 年 4 月 3 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2020-013），根据公司其他独立董事的委托，独立董事 Chen, Shimin（陈世敏）先生作为征集人就2020 年第一次临时股东大会审议的公司 2020 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

  3、2020 年 3 月 31 日至 2020 年 4 月 14 日，公司对本激励计划拟激励对象
的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励
计划激励对象有关的任何异议。2020 年 4 月 16 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司 2020 年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2020-016）。

  4、2020 年 4 月 21 日，公司召开 2020 年第一次临时股东大会，审议并通过
了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于
公司<2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

  5、2020 年 4 月 22 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
《关于公司 2020 年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。

  6、2020 年 6 月 5 日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关
于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

  同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

  7、2020 年 6 月 6 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2020-036），根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就 2020 年第二次临时股东大会审议的公司 2020 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

  8、2020 年 6 月 22 日，公司召开 2020 年第二次临时股东大会，审议并通过
了《关于公司<2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。

  9、2020 年 6 月 30 日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事
会第九次会议，审议通过了《向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

  10、2020 年 11 月 6 日，公司召开第一届董事会第十六次会议与第一届监事
会第十二次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。


  11、2021 年 7 月 9 日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监
事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

  12、2021 年 12 月 9