688012 科创 中微公司

      中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会

    关于 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分及预留
      授予部分第二个归属期归属名单的核查意见

  中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规定，对公司 2020 年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）首次授予部分及预留授予部分第二个归属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：

  公司 2020 年限制性股票激励计划首次及预留授予的激励对象中，本次激励计划首次授予部分拟归属的572名激励对象及预留部分拟归属的149名激励对象符合《公司法》、《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》、《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合《2020 年限制性股票激励计划（草案修订稿）》规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

  特此公告。

                            中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
                                                    2023 年 4 月 14 日