公司代码：688012 公司简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2022 年年度报告
重要提示
一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、
完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
二、公司上市时未盈利且尚未实现盈利
□是 √否
三、重大风险提示
报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“四、风险因素”部分内容。
四、公司全体董事出席董事会会议。
五、 普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报
告。
六、 公司负责人尹志尧、主管会计工作负责人陈伟文及会计机构负责人（会计主管人员）陈伟文
声明：保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。
七、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
考虑到公司目前研发投入等资金需求较大，为更好地维护全体股东的长远利益，公司2022年度不分配利润，资本公积不转增。以上利润分配预案已经公司第二届董事会第十一次会议审议通过，该预案尚需公司2022年年度股东大会审议通过。
八、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用
九、 前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本年度报告中涉及的未来计划、发展战略等前瞻性陈述不构成公司对投资者的实质承诺，投资者及相关人士均应当对此保持足够的风险认识，并且应当理解计划、预测与承诺之间的差异，敬请投资者注意投资风险。
十、 是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况
否
十一、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况
否
十二、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性否
十三、 其他
□适用 √不适用
目录
第一节 释义 ................................................................................................................................... 15第二节 公司简介和主要财务指标 ............................................................................................... 19第三节 管理层讨论与分析 ........................................................................................................... 24第四节 公司治理 ........................................................................................................................... 74第五节 环境、社会责任和其他公司治理 ................................................................................... 98第六节 重要事项 ......................................................................................................................... 106第七节 股份变动及股东情况 ..................................................................................................... 131第八节 优先股相关情况 ............................................................................................................. 140第九节 债券相关情况 ................................................................................................................. 140第十节 财务报告 ......................................................................................................................... 141
载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管
备查文件目录 人员）签名并盖章的财务报表。
载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件。
第一节 释义
一、 释义
在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：
常用词语释义
报告期 指 2022 年 1 月 1 日至 2022 年 12 月 31 日
公司、本公司、 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司
中微公司
股东大会 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司股东大会
董事会 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
监事会 指 中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
中国证监会、 指 中国证券监督管理委员会
证监会
上交所 指 上海证券交易所
元、万元、亿元 指 人民币元、人民币万元、人民币亿元
中微开曼 指 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.
中微亚洲 指 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. Asia
中微国际 指 Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.，中微公司在
新加坡设立的子公司
中微国际台湾 指 新加坡商中微半导体设备股份有限公司台湾分公司，中微国际在中国台
分公司 湾设立的分支机构
中微北美 指 AMEC North America, Inc.
中微日本 指 AMEC Japan Co., Inc.,中微国际在日本设立的分支机构
中微韩国 指 AdvancedMicro-Fabrication EquipmentKoreaLtd.，中微国际在韩国设立的
分支机构
中微厦门 指 中微半导体设备（厦门）有限公司
中微南昌 指 南昌中微半导体设备有限公司
中微临港 指 中微半导体（上海）有限公司
中微汇链 指 中微汇链科技（上海）有限公司
中微惠创 指 中微惠创科技（上海）有限公司
芯汇康 指 芯汇康医疗器械(上海)有限公司
上海创投 指 上海创业投资有限公司
上海科创集团 指 上海科技创业投资（集团）有限公司
巽鑫投资 指 巽鑫（上海）投资有限公司
置都投资 指 置都（上海）投资中心（有限合伙）
悦橙投资 指 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）
橙色海岸 指 嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）
南昌智微 指 南昌智微企业管理合伙企业（有限合伙）
Bootes 指 Bootes Pte. Ltd.
Futago 指 Futago Pte. Ltd.
Grenade 指 Grenade Pte. Ltd.
创橙投资 指 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）
励微投资 指 上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）
芃徽投资 指 上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）
亮橙投资 指 嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）
拓荆科技 指 拓荆科技股份有限公司
上海芯元基 指 上海芯元基半导体科技有限公司
睿励仪器、睿 指 睿励科学仪器（上海）有限公司
励
Solayer 指 SOLAYER GmbH
DAS 环境专家 指 DAS Environmental Expert GmbH
有限公司
天岳先进 指 山东天岳先进科技股份有限公司
理想万里晖 指 理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
中欣晶圆 指 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
昂坤视觉 指 昂坤视觉（北京）科技有限公司
德龙激光 指 苏州德龙激光股份有限公司
CCP 指 Capacitively Coupled Plasma，电容性耦合的等离子体源
CMOS 指 ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互补金属氧化物半导体，指制
造大规模集成电路芯片用的一种器件结构
CVD 指 Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积
DRAM 指 Dynamic Random Access Memory，动态随机存取存储器
ETCH、刻蚀 指 用化学或物理方法有选择地在硅片表面去除不需要的材料的过程，是与
光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，是半导体制造工艺的关键步
骤
GaN、氮化镓 指 Gallium Nitride，氮和镓的化合物，一种第三代半导体，主要应用为半导
体照明和显示、电力电子器件、激光器和探测器等领域
Gartner 指 IT 领域领先的研究与顾问公司，研究范围覆盖从最上游的硬件设计、制
造到最下游终端应用的 IT 产业全环节
IC、集成电路 指 Integrated Circuit，指通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极
管等有源器件和电阻器、电容器等无源原件按一定的电路互联并集成在
半导体晶片上，封装在一个外壳内，实现特定功能的电路或系统
ICP 指 Inductive Coupled Plasma，电感性耦合的等离子体源
LED 指 Light-Emitting Diode，发光二极管
LED 外延片 指 LED 外延片是指在一
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