公司代码：688012 公司简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2022 年半年度报告
中微公司董事长尹志尧致辞
尊敬的各位股东、伙伴们、朋友们，
大家好！我谨代表中微公司董事会、公司管理层和全体
员工，向各位股东和社会各界对中微公司的大力支持表示衷
心的感谢！
数码产业越来越成为国民经济发展的最重要的引擎，作
为数码产业的基石，加工集成电路和各种微观器件的半导体
设备产业，更成为人们最关注的硬科技产业。作为国内外半
导体高端设备的领先公司，中微公司顺应这一形势，迎来了大发展的机会。今年上半年，在上海新冠疫情严重肆虐的情况下，公司坚持“封控不停产，营运零感染”，与客户和供应厂商密切合作，在复杂的形势中紧抓机遇，产量和质量齐头并进，取得了超预期的成绩。在过去的十年中，公司的营业收入一直以高于 35%的年平均增长速度持
续增长。在 2021 年比 2020 年全年新增订单金额增长 90.46% 达到 41.29 亿元、营业
收入增长 36.72% 达到 31.08 亿元的基础上，公司 2022 年上半年新签订单金额又同比
增长了约 61.83% 达到 30.57 亿元，营业收入同比增长了 47.30% 达到 19.72 亿元，扣
非归母净利润同比增长了 615.26% 达到 4.41 亿元。公司的综合竞争优势继续得到强化和提升，各项营运的指标 KPI 已达到国际先进半导体设备企业的水平。公司特别重视团队总能量的最大化和在市场上竞争的净能量最大化，劳动生产率不断提高，报告期内人均年化营业收入已达到 350 万元。今年上半年公司还制定并发布了“中微防新冠 40 条守则” 和“防疫小贴士”，对外分享公司防疫及复工复产的成功实践经验，起到了很好的作用。
由于光刻机的波长限制以及存储器件从二维到三维的演变，等离子体体刻蚀机已成为集成电路前端设备销售增长最快的设备，全球超过了相当于 1400 亿人民币的市场，我国达到约 350 亿人民币市场。作为公司的主打产品，我们经过 18 年的努力，已经开发出有技术创新和产品差异化的、完整的刻蚀设备系列，可以覆盖绝大多数的刻蚀应用。包括 CCP 电容性高能等离子体刻蚀设备和 ICP 电感性低能等离子体刻蚀设备。而且这两种设备既有单反应台的反应器，可加工最高端的应用，也有双反应台
的反应器，通过一次加工两片晶圆，为客户提供极高输出量和极低加工成本的解决方案。今年上半年，公司坚持以市场和客户需求为导向，积极应对复杂形势，继续加大研发投入和业务开拓力度，等离子体刻蚀设备及 MOCVD 设备等核心业务保持了高速和稳定的增长。公司的 CCP 电容性高能等离子体刻蚀设备持续得到众多客户的批量订单，市场占有率不断提升，在一些主要客户的生产线上已达到 30% 甚至更高的市场占有率；产品正在国际一流的 5 纳米晶圆生产线的部分刻蚀应用上稳定可靠的进行大生产，并在 5 纳米以下的器件试生产上取得可喜的进展。ICP 电感性低能等离子体刻蚀设备刻蚀线宽均匀性已达到 1 0.25 纳米的水平，在进入市场三年后已打下坚实的基础，不断地核准更多的刻蚀应用，年销售额以超过 100%的速度持续增长。公司正在开发的用于逻辑器件大马士革刻蚀及用于极高深宽比应用的刻蚀机取得了很好的进展，将陆续进入市场。
公司经过十多年的努力，制造氮化镓基 LED 的关键设备 MOCVD 设备已成为国
内和国际第一的占绝对领先地位的设备。公司新开发的制造 Mini-LED 蓝光和绿光器
件的 MOCVD 设备达到了单腔 41 片 4 英寸外延芯片加工能力，发光波长的均匀性达
到 1 0.8 纳米水平。在去年进入市场连续获得批量订单的基础上，今年上半年又获得了多家客户的大批量订单。公司也正在开发用于氮化镓和碳化硅功率器件和制造Micro-LED 的 MOCVD 专用设备。除此以外，公司也在开发集成电路前端所需要的低压化学气相沉积设备（LPCVD）和生长硅及锗硅极关键的外延设备（EPI），并已取得了可喜的进展。公司还在筹划开发用于更先进微观器件制程的薄膜设备和刻蚀设备。中微开发的一系列微观加工的设备产品都已在性能和性价比上进入国际三强行列，有些产品甚至进入二强和一强地位。
公司继续瞄准世界科技前沿，坚持三维发展战略：在继续聚焦集成电路关键设备领域、继续扩展泛半导体关键设备领域的基础上，不断探索中微核心技术在其他新兴领域的发展机会。中微的子公司：聚焦环境保护节能减排设备的 “中微惠创”、开发中小企业营运软件系统的 “中微汇链”，以及探索数码技术在大健康领域广泛应用的“芯汇康” 都取得了良好的进展。公司将继续坚持以有机生长为核心，不断组建新的团队，开发更多有竞争力的设备产品；同时积极通过投资和并购，实现外延更快的横向发展。公司积极参与符合企业发展战略的 30 多个投资项目，积极谨慎布局产业链上下游部分重点领域，致力于获得战略协同效应并兼顾良好的经济效益。公司参与投资
的标的公司在各自细分领域取得了卓有成效的进展，得到了市场认可和用户的积极评价。公司参股投资的天岳先进、拓荆科技、德龙激光已在科创板挂牌上市。报告期内，公司通过对外投资，进一步巩固产业链协同效应，完善公司业务布局。
为了确保公司今后十到十五年的高速发展，公司正在进行三个重大项目建设。在
南昌的约 14 万平方米的生产和研发基地已部分完工，部分生产洁净室于 2022 年 7 月
投入试生产；公司在上海临港的约 18 万平方米的生产和研发基地建设也已大部分封顶，明年年初就可以部分投入使用；上海临港滴水湖畔约 10 万平方米的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。未来两年时间，公司会有比现在十五倍大的厂房陆续建成，使中微有足够的研发、生产和营运的空间，为今后的大发展夯实基础。
报告期内公司持续提升综合竞争力，在技术进步、业务发展、业绩增长、规范治理等方面不断提高水平。公司总结过去 18 年的成长及发展的历程，学习国内外先进的高科技企业的发展经验，继续改进和升华中微“四个十大”的企业文化，包括 “产品开发的十大原则”、“战略和销售的十大准则”、“营运管理的十大章法” 和“精神文化的十大作风”。公司将持续锻造并提升经营管理能力，实现高速、稳定、健康和安全的发展，力争成为国内外一流的半导体设备和高科技领先企业！
中微公司董事长兼总经理：尹志尧
2022 年 8 月 10 日
重要提示
一、本公司董事会及除杨征帆外的董事、监事、高级管理人员保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。杨征帆董事、监事、高级管理人员无法保证本报告内容的真实性、准确性和完整性，理由是：无法取得联系。请投资者特别关注。
二、重大风险提示
报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“五、风险因素”部分内容。
三、未出席董事情况
未出席董事职务 未出席董事姓名 未出席董事的原因说明 被委托人姓名
董事 杨征帆 无法取得联系 无
四、本半年度报告未经审计。
五、公司负责人 GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、主管会计工作负责人陈伟文及会计机构负责人
（会计主管人员）陈伟文声明：保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。
六、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
无
七、是否存在公司治理特殊安排等重要事项
□适用 √不适用
八、前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本半年度报告中涉及的未来计划、发展战略等前瞻性陈述不构成公司对投资者的实质承诺，投资者及相关人士均应当对此保持足够的风险认识，并且应当理解计划、预测与承诺之间的差异，敬请投资者注意投资风险。
九、是否存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况
否
十、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况
否
十一、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性否
十二、其他
□适用 √不适用
……
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