688012 科创 中微公司

        中微半导体设备（上海）股份有限公司

      2022 年限制性股票激励计划激励对象名单

                （截止至授予日）

一、限制性股票激励计划的分配情况表

                                            获授限制  占授予限  占本激励
      姓名        国籍        职务      性股票数  制性股票  计划公告
                                            量(万股)  总数比例  日股本总
                                                                  额比例

  一、董事、高级管理人员

      GERALD

    ZHEYAO YIN    美国    董事长、总经理  10.1120    2.528%    0.016%
    （尹志尧）

    ZHIYOU DU    美国    董事、副总经理  7.1300    1.783%    0.012%
    （杜志游）

    HSIN-PING  中国台湾    副总经理      5.4700    1.368%    0.009%
  CHU（朱新萍）

    TUQIANG NI    美国      副总经理      4.1200    1.030%    0.007%
    （倪图强）

  WEIWEN CHEN  中国香港    副总经理、    3.9400    0.985%    0.006%
    （陈伟文）              财务负责人

      刘晓宇      中国      副总经理、    2.9800    0.745%    0.005%
                              董事会秘书

  二、核心技术人员

    James Wei    美国    核心技术人员    2.6000    0.650%    0.004%
  Yang（杨伟）

      Steven

  Tianxiao Lee    美国    核心技术人员    2.6000    0.650%    0.004%
    （李天笑）

      Steve

  Sze-Yee Mak    美国    核心技术人员    0.9400    0.235%    0.002%
    （麦仕义）

                    小计                    39.8920    9.973%    0.065%

  三、其他激励对象

  董事会认为需要激励的其他人员（1095 人）  360.1080  90.027%    0.584%

  合计                                    400      100%    0.649%

  注： 1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均未超过公司总股本的 1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东大会时公司股本总额的 20%；

  2、本计划激励对象不包括独立董事、监事、单独或合计持有上市公司 5%以上股份的股东、上市公司实际控制人及其配偶、父母、子女；

  3、上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。
二、董事会认为需要激励的其他人员情况

                                                                占本激励计
    激励对象                  获授限制性股票  占授予限制性

                  激励对象人数                                  划公告日股
      职务                      数量（万股）    股票总数比例

                                                                本总额比例

  中层管理人员        144          163.8940        40.974%        0.266%

  技术骨干            377          85.7882        21.447%        0.139%

  业务骨干            211          49.1214        12.280%        0.080%

  专业人员            271          55.3165        13.829%        0.090%

  优秀基层员工        92          5.9879          1.497%        0.010%

  小计              1095        360.1080        90.027%        0.584%

                            中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
                                                  2022 年 3 月 29 日