688012 科创 中微公司

        中微半导体设备（上海）股份有限公司

  2020 年限制性股票激励计划激励对象名单（调整后）一、限制性股票激励计划的分配情况表

                                            获授限制  占授予限  占本激励

      姓名        国籍          职务      性股票数  制性股票  计划公告

                                            量(万股)  总数比例  日股本总

                                                                    额比例

  一、董事、高级管理人员

      /            /            /            /          /          /

  二、核心技术人员

  James Wei      美国      核心技术人员    4.6000    0.575%    0.009%

  Yang（杨伟）

    Steven

  Tianxiao Lee      美国      核心技术人员    3.6000    0.450%    0.007%

  （李天笑）

    Steve

  Sze-Yee Mak    美国      核心技术人员    1.8000    0.225%    0.003%

  （麦仕义）

                    小计                    10.0000    1.250%    0.019%

  三、其他激励对象

  董事会认为需要激励的其他人员（697 人）    660.0000  82.500%    1.234%

  首次授予限制性股票数量合计                  670      83.750%    1.253%

  三、预留部分                                130      16.250%    0.243%

  合计                                        800      100%    1.496%

  注：1.预留部分激励对象名单将在 2020 年限制性股票激励计划经公司股东大会审议通过后一年内确定。

      2.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入
所造成。

二、董事会认为需要激励的其他人员情况

                                                                占本激励计
    激励对象                  获授限制性股票  占授予限制性

                  激励对象人数                                  划公告日股
      职务                      数量（万股）    股票总数比例

                                                                本总额比例

  中层管理人员        115        257.4172      32.177%      0.481%

  技术骨干            239        167.9424      20.993%      0.314%

  业务骨干            187        138.4605      17.308%      0.259%

  专业人员            120          86.0795        10.760%      0.161%

  优秀基层员工        36          10.1004        1.263%      0.019%

  小计              697          660.0000      82.500%      1.234%

                            中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
                                                  2020 年 6 月 5 日