688012 科创 中微公司

        中微半导体设备（上海）股份有限公司

      2020 年限制性股票激励计划激励对象名单

一、限制性股票激励计划的分配情况表

                                            获授限制  占授予限  占本激励

      姓名        国籍          职务      性股票数  制性股票  计划公告

                                            量(万股)  总数比例  日股本总

                                                                    额比例

  一、董事、高级管理人员

      /            /            /            /          /          /

  二、核心技术人员

  James Wei      美国      核心技术人员  6.8000    0.567%    0.013%

  Yang（杨伟）

    Steven

  Tianxiao Lee      美国      核心技术人员  5.4000    0.450%    0.010%

  （李天笑）

    Steve

  Sze-Yee Mak    美国      核心技术人员  2.7000    0.225%    0.005%

  （麦仕义）

                    小计                  14.9000    1.242%    0.028%

  三、其他激励对象

  董事会认为需要激励的其他人员（712 人）    985.1000  82.092%    1.842%

  首次授予限制性股票数量合计                1,000    83.333%    1.870%

  三、预留部分                              200    16.667%    0.374%

  合计                                    1,200      100%    2.244%

  注：1.预留部分激励对象名单将在 2020 年限制性股票激励计划经公司股东大会审议通过后一年内确定。

      2.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入
所造成。

二、董事会认为需要激励的其他人员情况

                                                                占本激励计
    激励对象                  获授限制性股票  占授予限制性

                  激励对象人数                                  划公告日股
      职务                      数量（万股）    股票总数比例

                                                                本总额比例

  中层管理人员      115        378.1789      31.515%      0.707%

  技术骨干          243        250.8919      20.908%      0.469%

  业务骨干          194        209.9845      17.499%      0.393%

  专业人员          123        130.7512      10.896%      0.244%

  优秀基层员工        37          15.2935        1.274%      0.029%

  小计              712        985.1000      82.092%      1.842%

                            中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
                                                  2020 年 3 月 18 日