公司代码：603690 公司简称：至纯科技
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2020 年年度报告摘要
一 重要提示
1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规
划，投资者应当到上海证券交易所网站等中国证监会指定媒体上仔细阅读年度报告全文。
2 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整，
不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
3 公司全体董事出席董事会会议。
4 众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
5 经董事会审议的报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
以股权登记日的总股本为基数，公司拟向股权登记日登记在册的全部股东每 10 股派发现金红利 1.6383 元（含税），预计共派发现金红利 52,118,987.90 元（含税），占合并报表本年实现归属于上市公司股东净利润的 20.00%。
二 公司基本情况
1 公司简介
公司股票简况
股票种类 股票上市交易所 股票简称 股票代码 变更前股票简称
A股 上海证券交易所 至纯科技 603690 无
联系人和联系方式 董事会秘书 证券事务代表
姓名 柴心明 张娟
办公地址 上海市闵行区紫海路170号 上海市闵行区紫海路170号
电话 021-80238290 021-80238290
电子信箱 dong_ban@pncs.cn dong_ban@pncs.cn
2 报告期公司主要业务简介
（一）公司从事的主要业务
公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售; 光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。
1、高纯工艺系统
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt 级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。公司在用户价值上聚焦六个词：“高纯、工艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的同时，在减排和工艺数字化领域也投入研发，有具体的产品和服务的部署，该领域的投入兼具经济效益和社会效益。
高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。
在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、产品服务化的布局。
高纯工艺系统的产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统、研磨液供应及回收系统、前驱体介质系统、大宗气体、半导体工艺尾气处理设备及系统、物料及水系统，广泛应用于集成电路、显示屏、光电、光伏及生物制药、食品饮料等领域。
高纯特气柜 高纯化学品柜
大宗气站
研磨液供应系统
前驱体介质系统
2、半导体湿法清洗设备
公司提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要应用于集成电路、微机电系统、平板显示等领域。
随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级，随着
工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性； 清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。
公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设备（8~12反应腔）均可以提供 8~12 寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品以及一些特殊工艺上，例如薄片工艺、化合物半导体、
金属剥离制程等。
在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18 腔等）。
公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控制系统、通信系统、传感控制系统、气体流场设计、反应药液回收环设计等。
B200 槽式设备实物图 S300 单片式设备实物图
特色工艺单片 B300
3、光纤传感器及光电子元器件
公司全资子公司波汇科技主要从事光纤传感器及光电子元器件的研发、生产及销售，专注于光纤传感及光电子元器件技术研发并在分布式光纤振动监测、温度监测、光纤光栅传感、算法仿真、智能视频、真空镀膜技术以及应用软件开发方面具有核心技术。主要产品有光纤电网综合监测系统、光纤石化油库管道综合监控系统、光纤桥梁结构健康监测系统、光纤轨道交通综合监测系统、光电子元器件（滤光片、激光管帽、磁光开光、标准具）、激光气体传感监测系统。主要应用于电力电网、石油石化、城市地下综合管廊、数据及通信等领域。
（二）经营模式
1、高纯工艺系统
公司通过获取客户需求与业务信息，以竞标为主、议标为辅的方式实现销售。公司以项目为单位为客户进行定制化的设计、生产和安装，以满足不同客户的生产工艺要求。根据不同项目要求分次进行采购为主，同时针对长交期或者产业上游元器件交期波动的情形进行一定量集中采购以实现提前备货。中标以后，由技术中心以项目为单位制定系统的整体设计方案；系统所用的专用设备由制造中心根据技术中心的要求制定设备的生产工艺流程，在公司的生产车间完成；工程中心负责管道、阀门、仪表、配件的客户现场预制，再根据设计方案的要求完成整个系统的安装。
2、半导体湿法清洗设备
公司主要采取自主研发的模式，研发流程主要包括概念与可行性阶段、 Alpha 阶段、Beta 阶
段、量产阶段。在概念与可行性阶段，研发部根据市场情况需求提出新产品的构思，综合比对多种技术方案以确定合适客户需求的研发。在 Alpha 阶段，公司根据市场需求进行机台设计、组装开发和验证。在 Beta 阶段，公司将机台送往目标客户以完成生产线的大批量验证。在量产阶段，公司设备技术已经成熟，根据市场需求进行量产。
公司主要根据生产计划、物料清单及相关原材料的库存情况制定相应的采购计划，公司注重供应商的选择，目前已与全球多家供应商建立了长期、稳定的合作关系。
公司采用“以销定产”的生产模式，根据客户的销售订单情况及相关技术规格制定生产计划并组织生产，由公司销售部门直接销售给客户，并完成合同回款、客户信息与结果反馈等工作。
3、光纤传感器及光电子元器件
在电力、石油石化领域，公司主要是通过招投标方式获取最终客户的销售合同，一般的销售流程为：获取客户采购信息，确认参加报价或者竞标，按照客户要求进行报价或者竞标，成功后获取供货资格，最后签订销售合同。
在城市地下综合管廊、轨道交通领域则是通过总承包商向最终用户提供产品解决方案。通过总承包商获取客户合同后采购本公司的定制化产品，从而实现销售。
公司滤光片、激光管帽等光电子元器件业务直接客户为光通信器件厂商。根据客户需求，在完成招投标流程并中标后，公司将样品送至客户处进行质量、规格等相关测试。待测试满足标准后，公司与客户签订销售订单，产品产出后发货至客户处，待客户验收无误后确认收入。
公司建立了合格供应商制度，采购以项目为导向，根据项目进度编制采购计划，对于自制产品常用材料会安排做部分安全库存备货，并结合交期和优先等级进行以销定产的生产排产模式。
（三）行业情况
1、高纯工艺系统
在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初应用在半导体行业。随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导体产业，即皆以半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀、CVD 成膜等均需使用相当多的高纯度气体和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系统的大量需求。
目前少数本土供应商的产品和服务已经顺利进入全球一线客户，竞争地位不断增强，正逐步实现进口替代，包括系统的替代、设备的替代、乃至元器件层的替代。行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，行业内呈现出高等级高纯工艺市场集中度较高、低等级市场较为分散的竞争格局，本土主流供应商的竞争地位将不断增强。
目前公司高纯工艺系统已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等等，是下游行业的领先者。
2、半导体湿法清洗设备
随着半导体芯片工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋
复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。
目前中国市场和国际市场范围内，主要的湿法设备厂商以日本和欧美为主，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。目前至纯科技是国内能提供到 28 纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。
目前公司湿法设备已经切入一线用户，用户有中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等等，均为所在下游行业的领先者。其中公司单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法
清洗领域的空白。截止到 2020 年 12 月 31 日，湿法设备累计申请专利 122 项（其中发明专利 74
项），已授权实用新型专利 23 项。公司 12 寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中国大陆以外高端清洗设备市场；公司的湿法设备历经 IP 自主、供应链自主研发，在国内（启东）湿法设备制造基地制造，并有序展开扶持供应链的本地化。伴随自主研发
的多个型号单片式清洗设备获得商用推进，公司的投资价值和潜力进一步凸显，业务潜力有望进一步释放。
3、光纤传感器及光电子元器件
近年来，在智慧城市、物联网、智能移动终端、智能制造、机器人、智能电网、石油石化、新能源等下游应用市场的推动下，中国光传感器市场快速成长，成为拉动全球光传感器市场增长的主要力量。光纤传感器为光传感领域下属细分子行业，以光纤传感技术为核心技术。光纤传感技术是一种以光纤中的导波原理为理
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