证券代码:002902 证券简称:铭普光磁 公告编号:2023-035
东莞铭普光磁股份有限公司
关于取得发明专利证书的公告
本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整,没有虚 假记载、误导性陈述或重大遗漏。
东莞铭普光磁股份有限公司(以下简称“公司”)及全资子公司东莞安晟半导体技术有限公司于近日取得一项中华人民共和国国家知识产权局颁发的发明专利证书,具体情况如下:
证书号:第 5846652 号
发明名称:一种晶圆减薄方法
专利号:ZL 2021 1 0645550.9
专利类型:发明专利
专利申请日:2021 年 06 月 10 日
专利权人:东莞安晟半导体技术有限公司、东莞铭普光磁股份有限公司
授权公告日:2023 年 04 月 07 日
专利权期限:20 年(自申请日起算)
本发明涉及晶圆处理技术领域,具体涉及一种晶圆减薄方法,取一衬底进行预处理;在待处理的晶圆表面覆上胶体层,测量胶体层的厚度,控制胶体层的厚度在预定范围内;将晶圆粘接在衬底上并对晶圆进行减薄处理,待减薄处理完成后使晶圆和衬底进行分离。以此先将晶圆粘接在衬底上再对晶圆进行减薄处理,使得衬底在减薄处理过程中能为晶圆提供支撑,可以有效降低减薄时晶圆碎裂的风险,提高晶圆的生产质量,有利于提高产品的良品率。
上述发明专利的取得不会对公司生产经营造成重大影响,但有利于充分发挥公司自主知识产权优势,完善知识产权保护体系,对公司开拓市场及推广产品产生积极的影响,形成持续创新机制,提升公司核心竞争力。
特此公告。
东莞铭普光磁股份有限公司
董事会
2023 年 4 月 8 日