公司代码：603690 公司简称：至纯科技
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2020 年年度报告
重要提示
一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整，
不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
二、公司全体董事出席董事会会议。
三、 众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
四、 公司负责人蒋渊、主管会计工作负责人陆磊及会计机构负责人（会计主管人员）陆磊声明：
保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。
五、 经董事会审议的报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
以股权登记日的总股本为基数，公司拟向股权登记日登记在册的全部股东每 10 股派发现金红利 1.6383 元（含税），预计共派发现金红利 52,118,987.90 元（含税），占合并报表本年实现归属于上市公司股东净利润的 20.00%。
六、 前瞻性陈述的风险声明
√适用 □不适用
本报告中所涉及的未来计划、发展战略等前瞻性描述不构成对投资者的实质承诺，敬请投资者注意投资风险。
七、 是否存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况
否
八、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况
否
九、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性
否
十、 重大风险提示
公司无重大风险，公司已在本报告详细描述公司可能面对的相关风险，敬请查阅第四节“经营情况讨论与分析”之“三、公司关于公司未来发展的讨论与分析”中“可能面对的风险”相关内容。
十一、 其他
□适用 √不适用
目录
第一节 释义 ...... 4
第二节 公司简介和主要财务指标 ...... 5
第三节 公司业务概要 ...... 10
第四节 经营情况讨论与分析 ...... 18
第五节 重要事项 ...... 32
第六节 普通股股份变动及股东情况 ...... 50
第七节 优先股相关情况 ...... 59
第八节 董事、监事、高级管理人员和员工情况 ...... 60
第九节 公司治理 ...... 66
第十节 公司债券相关情况 ...... 68
第十一节 财务报告 ...... 69
第十二节 备查文件目录 ......211
第一节 释义
一、 释义
在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：
常用词语释义
公司、本公司、至纯科技 指 上海至纯洁净系统科技股份有限公司
证监会 指 中国证券监督管理委员会
上交所 指 上海证券交易所
报告期 指 2020 年 1 月 1 日至 2020 年 12 月 31 日
上年、去年、同期 指 2019 年 1 月 1 日至 2019 年 12 月 31 日
元、万元、亿元 指 人民币元、人民币万元、人民币亿元，法定流通货币
尚纯投资 指 共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙)
平湖合波 指 平湖合波投资管理合伙企业（有限合伙）
平湖波威 指 平湖波威投资管理合伙企业（有限合伙）
上海蒲锐迪 指 上海蒲锐迪投资合伙企业（有限合伙）
上海颀瑞 指 上海颀瑞投资合伙企业（有限合伙）
至微半导体 指 至微半导体（上海）有限公司
波汇科技 指 上海波汇科技股份有限公司
制程污染控制 指 在泛半导体（集成电路、MEMS、平板显示、光伏、LED 等）、
生物医药等行业的产品制造过程中，为了减少或避免由于
细菌、病毒、杂质等污染因子导致的产品缺陷而采取的控
制措施，包括制程设备的精密化和工艺过程的精细化等
晶圆 指 硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，形状为圆形
标定 指 确定气体侦测仪器或测量系统的输入—输出关系，赋予仪
器或测量系统分度值；确定仪器或测量系统的静态特性指
标；消除系统误差，改善仪器或系统的正确度
高洁净材料 指 主要用于电子洁净、生物医药和食品饮料等领域的制程污
染控制，采用特殊材质与工艺制造，具有较高的洁净度要
求
高纯介质 指 高纯气体、高纯化学品、高纯水等介质
高纯工艺 指 泛半导体（集成电路、MEMS、平板显示、光伏、LED 等）、
生物制药等先进制造业的产品生产工艺中以不纯物控制
技术为核心的工艺
LED 指 发光二极管，是一种能够将电能转化为可见光的固态的半
导体器件，它可以直接把电转化为光
Ppb 指 十亿分之一，系表示浓度的一种单位符号
Ppm 指 百万分之一，系表示浓度的一种单位符号
Ppt 指 万亿分之一，系表示浓度的一种单位符号
CIP 指 在线清洗系统
CVD 指 化学气相沉积，指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液
态反应剂的蒸气及反应所需其他气体引入反应室，在衬底
表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路
中很多薄膜都是采用 CVD 方法制备。
OLED 指 有机发光二极管，又称有机电激光显示
PFA 指 全氟烷氧基树脂，系一种氟塑料材料
SIP 指 在线灭菌系统
MEMS 指 Micro-Electro-Mechanical System, 微 机 电 系 统 ,
也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几
毫米乃至更小的高科技装置。
LCD 指 液晶显示器或液晶面板
AMOLED 指 Active-matrix organic light emitting diode, 中文
全称是有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二
极体。被称为下一代显示技术。
芯公里 指 光缆的长度计量方式
芯棒 指 用于在压制方向在压坯或烧结体内成形轮廓面的模具的
部件
GMP 指 “生产质量管理规范”或“良好作业规范”、“优良制造
标准”。GMP 是一套适用于制药、食品等行业的强制性标
准。
MES 指 MES系统是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管
理系统。
二流体清洗 指 利用高压将通入了氮气的超纯水喷出,这样会在水中形成
大量的微小气泡,这种水气混合的形式称为二流体。微小
气泡接触晶圆迅速破裂,会在玻璃基板表面形成冲击力，
形成对晶圆表面的清洗作用。
异丙醇干燥 指 通过异丙醇的表面张力小，易挥发等特性， 在半导体制
造湿法清洗机台中起到干燥的作用。
高温硫酸 指 在湿法清洗工艺中， 硫酸与 H2O2 混合后用来去除晶圆表
面的光刻胶或者有机物的残余， 因为在使用的过程中硫
酸的温度需要加热到 100 度以上， 所以叫做高温硫酸。
光纤传感器 指 利用光纤作为媒介，将外界温度、应变等被测量转化为光
纤中传输的光波的强度、相位、频率、波长、偏振态等光
学信息的部件
光纤 指 一种利用在玻璃或塑料制成的纤维中的光全反射原理而
形成的光传导纤维结构通常，光纤的一端的发射装置使用
发光二极管（light emitting diode, LED）或激光二极
管（laserdiode, LD）将光脉冲传送至光纤，光纤的另一
端的接收装置使用光二极管（photo diode, PD）检测光
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